日本CKD化学液体用气控阀AMD413R-20BUP-00N4F

①供液用化学液体阀 AMD※1H、MMD※0H系列

满足Fab的高压/大流量需求

液体供给线的综合解决方案！！

■支持0.7MPa高压、高背压。

■气动阀、手动阀产品系列。

■焊管用伸出管产品系列。

■便于确认动作（带指示器）。

■附带防过度拧紧、安全锁紧机构（手动阀）。

②化学液体用气控阀 集成阀GAMD0※2A系列

适用于半导体用清洗装置的小型集成阀

■□30种尺寸适用于φ10气管的小型大流量集成阀。

■支持流体压力0.5MPa、背压0.3MPa的高压。

■接触液体部位由PFA、PTFE构成，适用于腐蚀性流体的化学液体

分流。

■2～5连为标准品系列。

■对应配管尺寸φ6、φ8、φ10、1/4"、3/8"。

③精密减压阀 PYM10、PMM20、PMP202、402系列

在半导体及LCD制造等使用洁净化学液体（包括纯水）的装置

内，用于控制化学液体压力的减压阀

■强力去异物过滤器内置型

■流量及压力特性优异，安装简单

■优良的耐腐蚀性

接触液体部位采用氟树脂（PFA、PTFE）以及SUS316，可以发挥优良的耐腐蚀性

■优良的压力及流量特性

采用氟树脂膜片，与金属膜片相比，压力及流量特性优异。

■内置过滤器，安全处理流体内的异物。

■采用面板安装方式，安装简便，可进行底面安装

■先导减压阀

减压阀通过先导空气控制可以调节为稳定的压力

④先导式3、4通阀 MN3E、MN4E系列

■环保

通过小型化、省电化，实现了轻量化、材料用量的减少和节能化。致力于减少影响环境的化学物质的使用，以焊接的无铅化为主，使用材料符合JIG-101标

准。

■小型、省空间

除阀模块宽10mm型的MN3/4E0 系列以外，还新增了阀模块宽7mm、集成间距

7mm的MN3/4E00型。7mm间距，更紧凑的集成阀有助于装置的小型化、高集成

化。

■高性能

·A口/B口均衡的响应性12ms。（N3E0 3通阀2个内置型的本公司数据值）

·无需繁琐的接线作业

连接接插件后，可同时完成组装和配线。

■安全性

·预防误动作标配排气误动作防止阀、进一步防止误操作的手动装置保护罩、防止异

物混入用的供气过滤网。追求*的安全性，预防阀误动作。

⑤搭载2个3通阀的电磁阀集成阀MN3Q系列

■小型

通过降低集成的高度（高34mm），可以安装在狭小的空间

■安装

安装方式从DIN导轨安装和直接安装中选择

■配管

由于可选择供气排气气口的接出位置，配管时回旋自由度提高了

日本CKD化学液体用气控阀AMD413R-20BUP-00N4F

型号选择时的注意事项

注1：F-LOCK60系列接头及PTFE阀体材质为接单生产品。

关于其它连接方式，请咨询本公司。

注2：控制气口方向、安装板请参照外观尺寸图。

注3：执行元件选择项：带传感器的情况，请咨询本公司。

注1：因为大多数情况下是各种化学液体的混合液，因此一般无法把握所有影响。

请充分确认产品构成材料与所使用流体的适用性，判断是否可以使用。

注2：如为氢氟酸或含氢氟酸的化学液体，则流体温度为5～80℃。

氢氟酸或含氢氟酸的化学液体无法在带旁通阀体中使用。

注3：在100℃以上的条件下使用硫酸 + 过氧化氢溶液时，请与本公司协商。

注4：在流体温度为80℃以上的条件下使用胺类剥离剂时，请定期进行更换。

参考标准为少1次/1年。

注5：用于气体时，可能会发生大1cm3

/分钟（空气压条件下）的阀座泄漏。

判定

● 可使用。（详细内容在产品记载页确认。）请与本公司协商。（在某些条件下可适用。）

× 不可使用。