一、产品介绍

SID4 UV HR 波前传感器基于 Phasics 技术，在 190 nm 至 400 nm 的紫外光谱范围内提供高分辨率(512 x 512 个测量点)和高的灵敏度(2 nm RMS)。因此，SID4 UV HR 非常适合光学元件特性分析(用于光刻、半导体……)和表面检查(镜头和晶圆)。

● 灵敏度低至 190 nm

● 高灵敏度 – 2 nm RMS

● 非常高的分辨率(512 x 512采样)

二、产品参数

三、Phasics 波前传感器优点

1、高分辨率

干涉取样

最多 850 x 720 个波前测量点

分辨率比基于 Shack-Hartmann 的波前传感器高 4 倍

2、准确性

得益于严格控制的车间校准，波前绝对精度达到 10 nm RMS(lambda/100 @ 1 微米)

波前灵敏度低至 1 nm RMS(lambda/1000 @ 1 微米)

3、消色差

波长波前测量 UV 至 LWIR

可用的波前传感器：UV、VISIBLE、NIR、SWIR、MWIR 和 LWIR

改变波长时无需额外校准

四、为什么要使用波前传感器?

波前传感器在各个行业中都有广泛的应用。它们通常用于光学测试和对准，包括测量表面轮廓或反射波前误差、评估透射波前误差和评估调制传递函数等任务。波前传感器还在自适应光学的激光和光学系统鉴定和控制中发挥着至关重要的作用。此外，它们还用于材料检测和定量相位成像。几乎所有与光子学相关的行业都可以从波前传感器的使用中受益。

SID4-UV-HR Phasics紫外波前传感器灵敏度低至190 nm

SID4-UV-HR Phasics紫外波前传感器灵敏度低至190 nm