经济型高分辨率紫外波前传感器Phasics

SID4 UV经济型高分辨率紫外波前传感器Phasics

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2024-11-08 14:42:03
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产地类别:进口;价格区间:面议;应用领域:综合;
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深圳市博纳德精密仪器有限公司

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产品简介

SID4 UV 具有低至 190 nm 的高分辨率波前感应功能,非常适合紫外光学测试、紫外激光表征(用于光刻或半导体应用)以及镜头和晶圆的表面检查。SID4 UV经济型高分辨率紫外波前传感器Phasics

详细介绍

波前传感器是一种用于测量光学波前的计量工具。虽然“波前传感器”一词涵盖各种仪器,但它具体指独立运行而不需要参考光束的波前测量设备,例如 Fizeau 或 Twyman-Green 干涉仪。制造波前传感器的主要技术是 Shack-Hartmann 和横向剪切干涉法。Phasics 的波前传感器基于四边形剪切干涉技术。

一、SID4 UV波前传感器介绍

SID4 UV 具有低至 190 nm 的高分辨率波前感应功能,非常适合紫外光学测试、紫外激光表征(用于光刻或半导体应用)以及镜头和晶圆的表面检查。

● 非常高的分辨率 – 250 × 250 采样

● 高灵敏度 – 2 nm RMS

● 经济实惠的紫外波前测量解决方案

二、SID4 UV波前传感器参数

型号SID4 UV
品牌Phasics
波长190 - 400 nm
靶面7.8 x 7.8 mm²
空间分辨率26 µm
相位和强度采样300 x 300
采集率> 15 fps
分辨率(相位)2 nm RMS
准确度15 nm RMS
实时处理频率2 fps (full resolution)*
接口Giga Ethernet
尺寸(WxHxL)74 x 71 x 91 mm³
重量~600g

三、应用

激光行业

半导体

天文学

航空航天

AR/VR

SID4 UV经济型高分辨率紫外波前传感器Phasics

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