详细介绍

1500/2000/3000iCL COOLVAC iCL系列全自动再生低温泵

昆山熙日机械设备有限公司是低温泵产品与维修服务提供商，德国、法国真空技术品牌的服务专家组建的技术服务商，致力于真空领域的解决方案，我们专业服务的品牌有：Seiko Seiki日本精工精机、EBARA日本荏原、Leybold德国欧瑞康莱宝、Pfeiffer德国普发、ALCATEL法国阿尔卡特、Edwards英国爱德华、Kashiyama日本樫山、 MITSUBISHI日本三菱、Suzuki日本铃木冷泵、ULVAC日本爱发科、CTI Cryopump低温泵（冷泵）等等… 为客户提供市场前沿高质量的技术解决方案，帮助客户提高生产效率和降低生产成本！源自原厂、高于原厂、技术、同步！

莱宝COOLVAC低温泵的工作范围10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）属于气体捕集泵。工作原理是将气态物质通过低温冷凝和低温捕集到泵内冷表面。为了能够获得高真空或超高真空，冷表面（低温板）必须冷却到足够低的温度。根据所用冷却系统的类型可以分为制冷机低温泵、贮槽式低温泵和蒸发器低温泵。

莱宝COOLVAC低温泵的工作范围10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）属于

气体捕集泵。工作原理是将气态物质通过低温冷凝和低温捕集到泵内冷表面。为了能够获得高真空或超高真空，冷表面（低温板）必须冷却到足够低的温度。根据所用冷却系统的类型可以分为制冷机低温泵、贮槽式低温泵和蒸发器低温泵。

莱宝公司生产用制冷机冷却低温泵。

莱宝1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自动再生低温真空泵

客户得益

低温泵的优势：

- 所有气体都有高抽速

- 对水汽有*的抽速

对于相同直径的高真空法兰，低温泵可以达到所有高真空泵MAX的抽速。

低温泵的优势2：

与气体传输泵（例如涡轮分子泵）相比，低温泵在真空侧没有任何机械活动

部件、润滑油或脂润滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).压强范围的无烃真空

- 对外部振动不敏感

其它优点：

- 与其他高真空泵相比更加紧凑（抽速大于1500 l x s-1）

- 仅启动和再生期间需要前级泵

- 利用计算机更容易对工艺和泵进行控制

- 性价比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的应用

莱宝真空生产的低温泵采用本厂生产的COOLPOWER双级冷头冷却（Gifford/McMahon原理）。

有关COOLVAC系列低温泵的设计，请见以下示意图的内容。

一级冷头（9）冷却热辐射防护屏和低温泵的障板（6）。

根据泵的型号和工作条件不同，达到45到80K的工作温度，水蒸汽在这里冷凝。

热辐射防护屏和障板为铜质，它们能很好地传递热量，从而优化制冷容量。

另外，热辐射防护屏经过抛光，将反射损失降到尽可能小。二级冷头（7）用于冷却冷伞（8）。

根据工作条件，达到 10到 20 K的工作温度。氮气、氧气和氩气在这里低温冷凝。冷伞采用高导热铜材与二级冷头紧密相连。氢气、氖气和氦气被吸附到冷伞上面部分覆盖活性炭上。

Leybold COOLVAC低温泵示意图.JPG

COOLVAC制冷机低温泵

COOVAC系列的所有低温泵都配有安全阀（UHV型带有爆破膜），安全阀由工厂设置，过压150mbar（113托）时打开。莱宝低温真空泵 COOLVAC 60000 iCL维修保养

为了保证在安全阀动作时，安全地排出可能影响健康的气体，安全阀另配有一个 DN 40 KF 法兰，上面可以连接一条排气管线。

低温泵的再生

低温泵工作的一个重要方面是再生。由于低温泵属于气体捕集泵，所以被抽气体都蓄积在泵内，饱和后必须泵排出。

具体操作方法是关闭压缩机并加热低温区到室温或略高的温度，由前级真空泵将释放的气体排出。

非电控再生系统的低温泵这种低温泵通过向泵内吹扫干燥、预热的惰性气体（例如氮气）加热低温区到室温。此情况下，由于低温泵内不可能有确定的和受控制的温度，所以无法排除氢气和氧气同时存在的情况。只有通过干燥惰性气体的稀释作用来防止可燃混合气的形成。莱宝低温真空泵 COOLVAC 60000 iCL维修保养

多台低温泵组合操作

由于莱宝真空的压缩机COOLPAK 6000HD功能强大，可以同时驱动两个以上冷头或低温泵。

客户得益

- 极大的降低投资和操作成本

- 占地面积小

苏州昆山太仓无锡上海张家港吴江莱宝1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自动再生低温真空泵

常熟镇江常州扬州泰州南通南京启东莱宝1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自动再生低温真空泵

海门如皋海门海安如东宿迁徐州合肥莱宝1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自动再生低温真空泵

芜湖杭州湖州温州台州衢州绍兴金华莱宝1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自动再生低温真空泵

宁波余姚福州厦门泉州深圳广州珠海广州莱宝1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自动再生低温真空泵

惠州通州桂林南宁南昌赣州武汉成都重庆莱宝1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自动再生低温真空泵

荆州太原兰州乌鲁木齐石家庄天津长春莱宝1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自动再生低温真空泵

吉林济南青岛威海德州连云港昆明九江安庆莱宝1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自动再生低温真空泵

莱宝真空全自动加热再生低温泵

低温泵通过电加热器将一级和二级冷头加温到室温。此类情况下，低温泵内可以达到确定和受控制的温度分布。这个受控制的加温过程保证了气体被连续排出，也就是按以下顺序气体一个接一个

被释放：

-　吸附在冷伞上的气体（例如氢气、　氦气、氖气）

-　冷凝在冷伞上的气体（例如氮气、　氧气、氩气）

-　冷凝在障板和热辐射防护屏上的气　体和蒸汽（例如水蒸汽）

莱宝真空采用的这种电加热再生方法能够防止氢气和氧气之类的气体在泵内同时存在，从根本上排除了可燃混合气形成的可能。

加温过程为全自动，泵内的压强和温度分布，始终由控制系统确定和控制，从而保证莱宝真空低温泵再生期间较大限度的安全。

莱宝真空的低温泵分自然再生（BL）和全自动加热再生（iCL）两个系列：

1. COOLVAC ClassicLine（COOLVACiCL），单品以对氮气抽速命名（单位l/s），如COOLVAC 1500 iCL对氮气的抽速为1500l/s。可提供从1500到60000l/s的全系列产

品。

在报价清单上，泵名称带有符号“V”的：“V”表示高真空接口位于上端，冷头在下面，例如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。

2. COOLVAC BaseLine的命名规则相同，可提供从1500到60000l/s的全系列产品。

3.　特殊低温泵

莱宝真空可以根据客户要求提供特制低温泵，如为航天环境模拟应用提供大口径液氮辅助制冷低温泵CV30000BLN2和CV60000BLN2，详细信息请和垂询熙日真空。

低温泵的优势：

- 所有气体都有高抽速

- 对水汽有*的抽速

对于相同直径的高真空法兰，低温泵可以达到所有高真空泵MAX的抽速。

低温泵的优势2：

与气体传输泵（例如涡轮分子泵）相比，低温泵在真空侧没有任何机械活动

部件、润滑油或脂润滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).压强范围的无烃真空

- 对外部振动不敏感

其它优点：

- 与其他高真空泵相比更加紧凑（抽速大于1500 l x s-1）

- 仅启动和再生期间需要前级泵

- 利用计算机更容易对工艺和泵进行控制

- 性价比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的应用

客户得益

- 无烃高真空

- 抽氩气和氮气能力强

- 切入阈值高

- 操作简单

- 易于整合到复杂系统

- 全自动再生

- 维修简单

典型应用

- 蒸发器

- 溅射系统

- 离子注入机

- 光学镀膜机

CTI-Cryogenics On-Board® IS 低温泵

维修-翻新服务

Brooks CTI-Cryogenics 智能 On-Board IS 低温泵系统采用创新型高效低温技术，可以提供的真空性能和能源效率。获得的分布式控制系统监控器及连续可调的低温泵系统独立部件帮助维持系统从而实现在较宽真空范围内都有*的工艺连续性。

Brooks 的优势

各种 CTI-Cryogenics 低温泵和压缩机的“一站式”体验
原始设备制造商：产品技术专家和设计工程师
可在所有主要的半导体晶圆厂所在的区域提供维修服务
所有维修类型均提供一年全面质保
维修类别：
- 翻新
- 高级交换
- 1 天快速响应交换
固定备件交换适用于所有区域
维修新增了产品升级和 CIP服务
ISO 认证的维修仅使用 Brooks 部件
统一维修作业流程以保持质量和性能的*性
所有产品的准备时间都是固定的，与服务类别无关
特定的维修协议可用于所有机械手臂

On-Board 低温泵维修-翻新选项

服务类别	型号	交货时间
翻新	包括所有的在用型号：On-Board IS 8、8F、8F XP、250FE、320FE、320FX	3-4 周
高级交换	包括所有的在用型号：On-Board IS 8、8F、8F XP、250FE、320FE、320FX	5-7 个工作日
1 天快速响应交换	包括大多数在用型号。*	下一个工作日

* 如需了解可用性，请与我们联系。

Brooks 认证的维修是客户的正确选择，可提供高质量的专业服务。这些维修旨在优化老化产品的性能，并为所有低温需求获取好寿命。

On-Board 低温泵维修特性

可提供性能升级选项
高级评估诊断工具
自动化测试套件
坚持*复制
深层故障分析选项

前瞻性协议

对于大量装机的客户，服务协议可以与增强的预防性维护或包括交换的翻新服务一起提供。这些协议提供随时可用的备件以支持运行时间要求。该计划可帮助客户主动管理设备维护，以便减少意外停机时间，同时固定的价格有利于您申请预算或预估维护费用。低温捕集泵维修，深冷泵维修，POLYCOLD维修专家就属熙日真空更专业，我们是专业维修POLYCOLD等深冷泵的公司，拥有众多专业且经过培训的工程师，训练有素，服务，上门解决您的设备各种疑难杂症问题，如果您遇到有POLYCOLD解决不了的问题联系熙日真空

　　我司常备有Polycold维修配件：Polycold的原装配方冷媒、冷冻油、低温电磁阀、低温接头垫圈和保温材料，维修后享有免费保修，免费技术支持。

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