ULVAC/日本爱发科 品牌
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高真空环境下测定，对真空计的精度(感度平衡，误差等)和较短的寿命(测定子污垢，放电难等)有困惑吗？ULVAC针对该愿望，开发了在严酷环境下长久，高精度测定的电离真空计。世界上三极管型金属电离真空计，对运转费大幅削减，过程布留率提高都有效果。
※腐蚀性气体（卤素气体）环境下使用的场合请商谈。
| 型号 | ST2-1 | ST2-2 | |
| 机种名 | 标准型 | 通讯型 | |
| 可以连接的传感器 | 多离子规传感器 ： 1套 皮拉尼真空计SPU ： 1套（可选） 压力传感器单元SAU ： 1套（可选） | ||
| 测定压力范围 | 1×10-5 ～ 1×10+1Pa | ||
| 测定精度 | 1×10-4 ～ 3Pa : ±10% | ||
| 反复精度 | 1×10-4 ～ 3Pa : ±2％ | ||
| 取样时间 | 50ms 5回的移动平均处理 | ||
| 测定值输出 | 输出电压 DC 0 ～ 10V LOG输出 0.75V/1数字 压力换算公式 V＝7.25+0.75＊（LogP-2） P＝10^｛（V-7.25）/0.75+2｝ ＊兼有设定值调整用的输出电压(仅限ST2) | ||
| 更新时间 | 50msec | ||
| 控制输入信号 | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 开路集电极输入，负逻辑 | – | |
| 控制输出信号 | 传感器错误，设定值1/2/3、排放驱动器、 灯丝电力监视 额定：24VMAX、50mAMAX、饱和电压1V | – | |
| 串行通信规格 | – | RS232C/RS-485 | |
| LED显示 | POWER/ERROR： 电源、错误LED FIL： B-A规 灯丝等状态显示 | ||
| SET1： 设定值1LED SET2： 设定值2LED SET3： 设定值3LED | – | ||
| 排放电流 | 2mA(1×10-3Pa以下)、10μA | ||
| DEGAS | 电子轰击方式、排放电流2mA、并网电压约330V | ||
| 传感器耐压 | 2×10+5Pa（压力） * 法兰或夹子等的耐压力需要另外考虑 | ||
| 传感器内容积 | SWT-16 ： 17cm3 | ||
| 使用温度范围 | 10〜50ºC | ||
| 使用湿度范围 | 15〜80%(无结露) | ||
| 保管温度 | -20〜65ºC(当断电时，无结露) | ||
| IP保护等级 | IP30 | ||
| 电源电压 | DC20〜28V (纹波、噪声低于1%) | ||
| 定常时约 | 8W、DEGAS时19W以下、接通电源时6A以下（4ms） | ||
| 输入输出连接器 | D-sub15针（M2.6螺） | ||
| 本体质量控制器 | 约530g 测定子（SWT-16）： 80g | ||
| 外形尺寸 W×D×H | 约183.8×约75×约62.2mm | ||
| 適合規格 | CE | ||
| 选 项 | 多离子规传感器 | SWT-16（NW16） 材质：灯丝 ： Ir/Y2O3コート PtC-Mo、SUS304、W、Kovar glass、Kovar/Ni电镀 | |
| 皮拉尼真空计 | SPU | ||
| 皮拉尼规传感器 | WP-16（NW16） 材质 ： 灯丝Pt、其他Bs/Ni电镀、Ni、焊接 压力传感器（NW16） 材质SUS316L | ||
| 单元电缆 | ST2 ～ SPU、ST2 ～ SAU显示单元间的线缆 0.5m | ||
| 连接器 | 1CH： ISG1（DC24V电源使用） 4CH： IM1R1（DC24V电源使用）/IM2R1（AC100V电源使用） | ||
| 显示单元电缆 | ST2 显示单元件的电缆 2m、5m、10m、15m、20m | ||
| 连接器 | 输入输出连接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺） | ||
| 其他 | 检查报告、一般校准测试报告、JCSS校准证书 | ||
■ 各模式规格：SH2-1/SH2-2可选择SH2-1/SH2-2是多离子规单体模式，皮拉尼真空计与组合模式，皮拉尼真空计及大气压传感器与三倍组合模式的3种使用方法
| 模式 | SH2-1/SH2-2 单体模式 | SH2-1/SH2-2＋SPU 组合模式 | SH2-1/SH2-2＋SPU＋SAU 组合模式 |
| 测定压力范围 | 5×10-8〜1×10+1Pa | 5×10-8〜1×10+4Pa | 5×10-8〜1×10+5Pa |
| 测定精度 | 5×10-8〜1×10+1Pa： ±15% | 5×10-8〜1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3〜3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3〜1.0×10+4Pa： 不保证精度 | 5×10-8〜1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3〜3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3〜1.0×10+4Pa： 不保证精度 1.0×10+4〜1.0×10+5Pa： ±3%F.S. (3×10+3Pa･ 基准温度25ºC) |
| 反复精度 | 1×10-6〜1×10-1Pa： ±2% | ||
| 连接图 (例) |  |  |  |
