ULVAC/日本爱发科 品牌
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AxTRAN是离子源和离子集电极之间,搭载贝赛尔型能量过滤器的热阴极型电离真空计。
通过减少软X射线和ESD离子等减少残留电流量程可以达到0.5×10-10Pa。
日本爱发科*真空计 AxTRAN维修
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