型号

SIR13

120V基板

250V基板

500V基板

1000V基板

基板测试部

测试电阻范围

320Ω～120TΩ

320Ω～2.5TΩ

320Ω～250TΩ

320Ω～500TΩ

320Ω～1000TΩ

测试通道数

8ch/基板

16ch/基板

8ch/基板

连接电缆

2根一对/基板

4线式

2根一对/基板

加载测试电缆×2

2根一对/基板

加载电缆×1、测试电缆×1

电气特性

电

压

加

载

部

加载电压

电压量程1

0.10V～120.00V

0.1V～250.0V

1.0V～500.0V

1.0V～1000.0V

电压量程2

0.100V～12.000V

--

--

--

加载设定分辨率

0.10V/0.001V

0.1V

基本加载精度

±0.3%/FS

±0.3%/FS + 0.5V/FS

zui大输出功率

96mW/ch

256mW/8ch

300mW/ch

加载组数

1组（1ch/1组）

2组（8ch/1组）

1组（8ch/1组）

加载量程

2量程

1量程

加载通道数

1ch

8ch

zui大负载容量

2.0μF/1ch

0.47μF/8ch

3300pF/1ch

电

压

显

示

器

显示器量程

2量程

1量程

显示器

范围

电压量程1

0.00V～120.00V

0.0V～250.0V

0.0～500.0V

0.0V～1000.0V

电压量程2

0.000V～12.000V

--

--

--

显示器分辩率

0.10V/0.001V

0.1V

基本显示器精度

±0.3%/FS

±0.3%/FS + 0.5V/FS

显示器分割单位

1ch

1组或1ch

1ch

显示器周期

40ms

显示器通道数

8ch

16ch

8ch

电

流

测

试

测试量程

3量程

2量程

3量程

显示器

范围

电流量程1

0.00μA～320.00μA

电流量程2

0.0000μA～3.2000μA

电流量程3

0.00nA～32.000nA

--

0.000nA～32.000nA

量程设定

320.00μA·3.2000μA

·32.000nA·自动

320.00μA·3.2000μA·自动

320.00μA·3.2000μA·32.000nA·自动

测试zui小分辨率

电流量程1

10nA

10nA

10nA

电流量程2

100pA

100pA

100pA

电流量程3

1pA

1pA

1pA

基本测试精度

±0.3%/FS

通道数

8ch

16ch

8ch

数据收录周期

定期30s（zui小）/离子迁移时40ms（zui小）

离子迁移测试速度

40ms

漏泄检出

400μs/ch

测试周期

40ms

其他功能

自己诊断

外接标准电阻诊断 ※选配

连锁

箱体门打开时，测试自动中断功能 ※选配

断线检出

端子断线检出功能

--

试验槽内温湿度收录

追加温湿度测试基板、借助3CS·keyless软件zui大可以收录4个槽的数据 ※选配

样品温度收录

通过3CS SMU 每个通道能够收录1个点 ※选配

系统zui大构成

SIR13

80ch（10基板）

160ch（10基板）

80ch（10基板）

SIR13mini

24ch（3基板）

48ch（3基板）

24ch（3基板）

控制部

系统控制电脑

Windows XP Pro.SP2适于Windows2000） Pentium 500MHz以上 内存256Mbyte以上

测试部的连接

GP-IB 或Ethernet

其他

停电对策

停电发生前保存收录数据，并且通电后能够继续收录 ※不停电电源必须

控制单元

结构类型

SIR13

SMU 10插槽式

外形尺寸:W430×H300×D620  ※不包含突起部分

重量：约30kg（SMU 10枚配备时）

消耗电流：5A以下（100V使用时）

SIR13mini

SMU 3插槽式

外形尺寸:W220×H370×D390  ※不包含突起部分

重量：约20kg（SMU 3枚配备时）

消耗电流：2A以下（100V使用时）

耐噪声能力

1μs脉冲 2KV  1分钟

绝缘电阻

DC500V 100MΩ以上

使用电源

AC85V～264V 50/60Hz

使用环境

温度+10℃～+40℃  湿度75%RH以下（无结露）

保存环境

温度-10℃～+ 60℃