能量色散X射线分析是确认物质中微量元素的品种和含量的一种办法，又称X射线次级发射光谱剖析，是使用原级X射线光子或其它微观粒子激起待测物质中的原子，使之产生次级的特征X射线(X光荧光)而进行物质成分剖析和化学态研讨。

 

　　原理

 

　　能量色散X射线分析时，试样能够被激起出各种波长的荧光X射线,需要把混合的X射线按波长(或能量）分开，别离丈量不同波长(或能量）的X射线的强度，以进行定性和定量剖析，为此使用的仪器叫X射线荧光光谱仪。

 

　　原子结构由原子核及核外电子组成，每个核外电子都以特定的能量在固定轨道上运行。当能量高于原子内层电子结合能的高能X射线与原子产生磕碰时，驱赶一个内层电子(如:K层)而出现一个空穴，使整个原子结构处于不稳定状况，较外层电子(如:L层)就会自发地跃迁到内层来填充这个空穴。不同壳层之间存在能量差(如:LE=EL-EK)，当跃迁过程中能量差以二次X射线的形式释放出来时就能够发射特征X射线荧光。

 

　　每一种元素都有其特定波长（或能量）的特征X射线。由Moseley定律可知，元素的荧光X射线的波长(λ）随元素的原子序数(Z)添加，有规则地向短波方向移动。

 

　　(1/λ)1/2=K(Z-S)

 

　　上式中K、S为常数，随谱系(L、K、M、N)而定。经过测定样品中荧光X射线的波长，就能够确认样品中元素的品种信息。这就是X射线荧光光谱定性剖析。

 

　　元素特征X射线的强度与该元素在样品中的原子数量成份额。经过丈量样品中某种元素荧光X射线的强度，采用适当的办法进行校准与校对，就能够求出该元素在样品中的百分含量。这就是X射线荧光光谱定量剖析。