工作原理：对被测样品发射一束一次X射线，样品的原子吸收X射线的能量后被激发并释放出二次X射线。每个化学元素会释放出特定能量的X射线。通过测量这些释放出的二次X射线的特征能量和强度，X射线分析仪就能够对被测材料的镀层厚度和成份提供定性和定量分析。

膜厚测试仪的主要特点：

1.材料鉴别和分类检测，材料和合金元素分析，元素光谱定性分析。

2.测量精度高、稳定性好，测量结果精确至μin。

3.激光对焦和自动对焦功能；单击鼠标，Z轴自动扫描，镭射聚焦。

4.结果输出：直接打印或一键导出到PDF、Excel文件；报告包含数据、图像、统计图表、客户信息等。

5.进行贵金属检测，如Au karat评价。

安全性：

1.自动锁定功能，防止未授权的操作。

2.简单用户界面只向日常操作员设定有限的授权。

3.主管人员可进行系统维护。

4.系统自动生成操作员的使用记录。

5.Z轴保护传感器。

6.安全防射线光闸。

7.样品室门开闭传感器。

8.X射线锁。

9.X射线警示灯。

10.紧急停止按钮。

11.前面板安全钮和后面板安全锁。