关键词：高精度灵敏光谱椭偏仪

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产品用途：

  BX-G101高精度灵敏光谱椭偏仪针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高精度快速摄谱型光谱椭偏仪，波长范围覆盖紫外、可见到红外。 光谱椭偏仪基于高灵敏度光谱探测单元和光谱椭偏仪分析软件，用于测量单层和多层纳米薄膜的层构参数（如，厚度）和物理参数（如，折射率n、消光系数k，或介电函数ε1和ε2），也可用于测量块状材料的光学性质。

仪器特点：

  1. *的旋转补偿器测量技术：椭偏角△的测量范围是0-360o，无测量死角问题，也可消除粗糙表面引起的消偏振效应对结果的影响

  2. 秒级的全光谱测量速度：全光谱测量典型时间5-10秒

  3. 原子层量级的检测灵敏度：可以测量单原子层

  4. 视频式样品对准：精确完成样品对准，并方便观察，减小人为误差

  5. 多入射角度调节：多入射角度结构设计，增强了仪器测量的灵活性，尤其适合于超薄样品或复杂的样品的测量场合

  6. 反射率/透射率测量：对样品进行光谱透射率和反射率测量

  7. 一键式仪器操作：对于常见操作，只需鼠标点击一个按钮即可完成复杂的测量、建模、拟合和分析过程，丰富的模型库和材料库也同时方便了用户的高级操作需求

技术参数：