APM-HB03HBH-GY

韩国迈克彼恩Mecapion ，其前身为韩国麦特斯Metronix 株式会社成立于1995年，于2007年3月份正式更名为迈克彼恩Mecapion，是韩国zui大的自动化设备及机械装置方面的核心部件即旋转编码器、伺服系统等产品的开发研制、生产、销售和售后服务的高新技术企业，并获得了ISO9001质量体系认证。开发完成半导体设备8‘’及12‘’晶圆用 spinner电机适用于涂胶，显影及清洗工程

实现率瞬间加速特性-100.000rps以上

可根据客户的要求，定做各种SPinner电机

按照客户的要求提供多种中空轴

采用磁性流体密封，强化耐环境性

表面进行特殊涂布处理，强化耐腐蚀性

应用范围：

　　1，半导体制造工业

　　2，设备应用

　　A.曝光显影设备(涂胶，显影)光刻加工程序的主要设备及掌控涂层，曝光，显影。

　　B.清洗、蚀刻设备用于蚀刻，清洗，去膜设备。

　　C.清洗设备适用于物理冲洗清洁、颗粒清洗刷子、声控及喷雾工艺。

　　技术含量

　　设备条件

　　高转速(5000rpm~8000rpm)真空轴

　　加/减速时间冷却系统(水冷系统)

　　低噪音和振动zui低公差

　　中空轴尺寸zui小化处理按照客户需求柔性定制

　　采用重叠设计是尺寸zui小化