LS中空轴APM-HB03HBH-CD

功率0.3KW，电压AC200V,400HZ

韩国迈克彼恩（LS-Mecapion）公司原名是韩国麦特斯（Metronix）株式会社是一家专业从事工业自动

化产品的研发，生产，销售及售后服务的高新技术企业。公司凭借的勇于探索的创新精神和对技术研究

一丝不苟的严谨态度在韩国国内业界被普遍认可。公司编码器产品现已占韩国国内*的85%以上

，伺服系统更是从无到有现已稳居韩国伺服*国产品牌地位。
福州欧士玛自动化设备有限公司多年来专注于在食品机械、印刷机械、纺织机械、橡塑胶行业、医疗设

备、医药包装、纸巾设备、数控机械手、CNC激光切割机、CNC数控机床、数控雕刻机、半导体等行业的

技术引进及产品的应用。
韩国LS spinner电机特点：APM-HB03HBH-SV、APM-HB03HBH-GY 、APM-HC03HCH、APM-HB01AAH 、APM-HB02AAH、APM-HB04AAH、APM-HC05HCH、APM-HC06HBH、APM-HE09ACH、、APM-HE1CH、APM-HB03HBH-CD、APM-VS04NL
产品规格：法兰尺寸：80mm-100mm   转速5000R-6000R  额定扭矩：0.62Nm-2.5Nm 额定功率：300W-

700W   涂胶&显影设备 蚀刻 清洗 去膜设备
开发完成半导体设备8"及12"晶圆用 spinner电机适用于涂胶，显影及清洗工程

实现率瞬间加速特性-100.000rps以上

可根据客户的要求，定做各种SPinner电机

按照客户的要求提供多种中空轴

采用磁性流体密封，强化耐环境性

表面进行特殊涂布处理，强化耐腐蚀性

应用范围：

　　1，半导体制造工业

　　2，设备应用

　　A.曝光显影设备(涂胶，显影)光刻加工程序的主要设备及掌控涂层，曝光，显影。

　　B.清洗、蚀刻设备用于蚀刻，清洗，去膜设备。

　　C.清洗设备适用于物理冲洗清洁、颗粒清洗刷子、声控及喷雾工艺。

　　技术含量

　　设备条件

　　高转速(5000rpm~8000rpm)真空轴

　　加/减速时间冷却系统(水冷系统)

　　低噪音和振动zui低公差

　　中空轴尺寸zui小化处理按照客户需求柔性定制

　　采用重叠设计是尺寸zui小化

LS中空轴APM-HB03HBH-CD