µsurf 共聚焦技术原理
         基于NanoFocus CMP技术（共焦多针孔）的鲁棒μsurf传感器技术。在几秒钟内，获得微观和纳米范围内的形貌、粗糙度和层厚度。
SURF技术的功能原理
        NanoFocus共聚焦显微镜包括LED光源、旋转多针孔盘、带有压电驱动器的物镜和CCD相机。LED源通过多针孔盘（MPD）和物镜聚焦到样品表面上，从而反射光。反射光通过MPD的针孔减小到聚焦的部分，这落在CCD相机上。来自传统光学显微镜的图像包含清晰和模糊的细节。相反，在共焦图像中，通过多针孔盘的操作滤除模糊细节（未聚焦）。只有来自焦平面的光到达CCD相机。因此，共聚焦显微镜能够在纳米范围内获得高分辨率。
         每个共焦图像是通过样品的形貌的水平切片。在不同的焦点高度捕获图像产生这样的图像的堆叠，通过共焦显微镜通过压电驱动器通过物镜的垂直位移来实现。200到400个共焦图像通常在几秒内被捕获，之后软件从共焦图像的堆栈重建的三维高度图像。
优势
μsurf技术在微米和纳米范围的技术表面表征方面具有许多优点。
与SEM（X，Y）相反，μSURF提供真实三维坐标（x，y，z）中的数据。只有这种定量数据能够地分析3D表面参数，从而提供关于表面纹理的更大范围的信息。μSurf系统的测量不需要以前的样品制备。
在许多工业部门中，标准的测量方法是触觉扫描。国家标准与技术研究所（NIST）的独立第三方研究表明，μSURF技术达到触觉系统的高相关性（99%）。另外，被检查材料的硬度的差异是不相关的，因为系统在没有接触和破坏表面的情况下工作。