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Solarius BGA光学3D形貌检测分析系统检测并表征半导体器件的参数。这种快速光学3D检测设备符合半导体行业通用标准，是品保及过程控制的理想工具。
易于自动化
快速非接触量测
适用于在线检测
定制化的程序和算法
定制化的数据分析
符合JEDEC标准
遵循SEMI S2/S8
BGA检测系统是一套具备完整功能成套检测系统。它包括一个快速非接触式的光谱共聚焦线传感器，能够以纳米级的分辨率每秒测量几十万个点并生成3D数据。系统采用测量范围高达400mmx400mm的高精度XY运动平台，并且配备隔振平台。专有的分析算法提供定制化数据分析。
