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Mahr用MARSURF UD 130 综合性轮廓和表面测量站替换了成功的MarSurf UD 120,并封闭了高端解决方案MarSurf LD 130/LD 260与具有两个驱动单元的标准组合测量站MarSurf XCR 20之间的间隙。
MarSurf UD 130的技术规范远远优于MarSurf UD 120:特别是测量和定位速度减少了每个工件的测量时间。
测量速度(文本) | 0.1 mm/s to 5 mm/s; |
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扫描长度末尾(X 方向) | 130 mm |
分辨率 | 2 nm |
扫描长度开始(X 方向) | 0.1 mm |
定位速度(文本) | 0.1 mm/s to 30 mm/s |
输入 | Standard probe LP-D 14-10-2/60° |
测量范围 mm | 10 mm (100 mm probe arm) |
轮廓分辨率 | 2 nm |
扫描长度(文本) | 0.1 mm to 130 mm |
测量力 (N) | 1 mN to 30 mN, software-adjustable |