日立冷场发射扫描电镜

现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。

通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的优良性能。

主要特点：
1. 配备加速电压减速功能，优良的低加速电压成像能力，1kV分辨率可达1.1nm

2. 日立E×B技术，无需喷镀，可直接观测不导电样品

3. 配备电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能

4. SE与BSE任意比例搭配功能

日立冷场发射扫描电镜

应用领域：
1.纳米材料
2.半导体器件
3.高分子材料
4.生物医学
5.新能源