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FR-ES: 精簡薄膜厚度测量特性分析系统
FR-ES 機型設計在以较小的占地面积提供涂层表征性能。它广泛应用于各种不同的测量应用：薄膜厚度、折射率、颜色、透射率、反射率等等。有下列波长范围 FR-ES 配置可用:
VIS/NIR (380-1020nm), UV/NIR (200-850nm), UV/NIR-EXT (200-1000nm), UV/NIR-HR (190-1100nm) NIR-N1 (850-1050nm),
NIR (900-1700nm).
D VIS/NIR (380-1700nm)
依照不同样品形状尺寸还有各种各样的配件，例如
§ 滤光片可阻挡某些光谱范围内的光
§ FR-Mic 提供微米級別区域进行测量
§ 手动载物台, 100x100mm或 200x200mm
§ 薄膜/比色皿支架用于吸光度/透射率和化学浓度测量的薄膜/比色皿支架
§ 积分球用于漫反射和全反射反射率测量
FR-ES 规格(标准配置) *
精簡薄膜厚度测量特性分析系统配件
聚焦模块 | 安装在反射探头上的光学模块，用于直径 <100μm 的光斑尺寸 |
透射率模块 | 用于透射率/吸光度测量的光学模块 |
膜厚/比色皿套件 | 标准比色皿中的薄膜或液体进行透射测量 |
接触探头 | 曲面樣品的反射率和厚度测量 |
显微镜 | 具有高横向分辨率的基于显微镜的反射率和厚度测量 |
手动X-Y平台 | 手动 X-Y 平台，用于测量 25x25mm /100x100mm / 200x200mm 区域 |
* 规格如有变更，恕不另行通知； ** 厚度范围取决于光谱范围，是指硅基板上折射率约为 1.5 的单层薄膜 ** 与校准的光谱椭偏仪和 XRD 进行比较的测量结果，15 天内平均值的标准偏差的平均值。样品：Si 上 1μm SiO2，100 次厚度测量的标准偏差。样品：Si 上 1μm SiO2，2*15 天内日平均值的标准偏差。
