薄膜厚度测量仪在线测量的解决方案

使用F32可以简单快速地在线测量膜厚。从对膜的顶部和底部反射光谱进行分析可得到实时厚度信息。

F32的光谱分析系统采用半宽的3U rack-mount底盘，加上附加的分光计，可达到四个不同的位置（EXR和UVX版本两个位置）。F32软件可以通过数字I/O或主机软件来控制启动/停止/复位测量。测量数据可以自动导出到主机软件中进行统计过程控制。Filmetrics还提供可选的透镜组件，以便于集成到现有的生产装置上。

包含的软件和USB连接使得在任何windows平台上安装F32很简单。在测量软件的帮助下，它预装了100多种材料，使得单层和多层薄膜的测量很容易实现。通过测量样品的光学常数或从现有的来源输入数据，可以快速添加新材料。

薄膜厚度测量仪附加特性

•             嵌入式在线诊断方式

•             免费离线分析软件

•             精细的历史数据功能，帮助用户有效地存储，重现与绘制测试结果