KLA探针式台阶仪P-7产品描述

P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。

P-7建立在P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了很好的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。

KLA探针式台阶仪P-7主要功能

•       台阶高度：几纳米至1000μm

•       微力恒力控制：0.03至50mg

•       样品全直径扫描，无需图像拼接

•       视频：500万像素高分辨率彩色摄像机

•       圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

•       软件：简单易用的软件界面

•       生产能力：通过测序，模式识别和SECS / GEM实现全自动化

主要应用

•       台阶高度：2D和3D台阶高度

•       纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

•       形状：2D和3D翘曲和形状

•       应力：2D和3D薄膜应力

•       缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌

工业应用

•       大学、研究实验室和研究所

•       半导体和化合物半导体

•       LED：发光二极管

•       太阳能

•       MEMS：微机电系统

•       数据存储

•       汽车

•       医疗设备