三维光学轮廓仪,三维光学轮廓仪特点-南京柯立配电子科技有限公司

详细介绍

型号：Zeta-20

产品：三维光学轮廓仪

品牌：Zeta泽塔

简介：zui*的3D成像及测试系统（为用户量身打造的表面轮廓测量设备，是表面量测领域的*选择）

三维光学轮廓仪特点

◆ 功能齐全，操作简易，用途广泛的Zeta-20

ZDotTM技术擅于对高粗糙度、低反射率的表面进行成像分析

·具有防反射涂层的太阳能电池片
·图形化/蚀刻的LED基板
·生物微机电、微机电系统和微流体槽
·透明的多表面样品成像

快速获取数据

·可配置快于10秒扫一幅三维图像的采集速度
·简明易学的软件操作界面

强大的三维分析功能

·台阶高度、粗糙度、面积、体积、角度及其它表面属性
·数据输出格式与常见的第三方分析软件可兼容

◆ 高度的灵活性

测量复杂的表面特征

从深槽到金刚石钢线，Zeta-20强大的成像能力可对各种复杂表面进行测量。通常这些表面由于太粗糙、太暗或是坡度太陡而无法用其它设备测量。

选项配置齐全

在科研过程中所涉及的样品表面类型往往难以预测。因此，Zeta-20使用模块化设计理念，为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求。
·薄膜厚度光谱仪
·可测量纳米级粗糙度的QDIC/Nomarski选项
·iX5干涉物镜
·Z轴分辨率高达2nm的压电陶瓷载台
·倾斜载台和真空吸附卡具
·自动特征提取和测量软件
·自动表面面积测量、统计分析 ...以及其它众多选项！

◆ 特定行业的测量应用

太阳能电池片表面分析：

·自动测量栅线的高度、宽度和体积
·单晶硅和多晶硅表面面积和绒面分析
·氮化硅防反射层薄膜厚度测量
·多点、自动栅线测量
·156mm太阳能电池片真空吸附载台

LED 和图形化蓝宝石基板(PSS)分析

·自动测量PSS高度、尺寸和周期
·分析光阻和蚀刻后PSS特征
·自动定位和测量外延后Mesa的粗糙度
·适用于2"、4"和6"晶圆的真空载台

微流体和微机电的测量分析

·透明的多层表面轮廓测量
·深槽、深井以及其它高纵深比的特征点测量
·灵活的、可自定义的横截面及测量点的设置

简便、易用的测量方法

·自动载物台支持多点测量序列和三维图像拼接
·自动坡度和波度补偿
·自动将待测表面调成水平
·自动测量高度、尺寸、角度、面积和体积
·自动测量线粗糙度和面粗糙度

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