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电子探针主要由电子光学系统(镜筒),X射线谱仪和信息记录显示系统组成。电子探针和扫描电镜在电子光学系统的构造基本相同,它们常常组合成单一的仪器。
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1电子光学系统
该系统为电子探针分析提供具有足够高的入射能量,足够大的束流和在样品表面轰击殿处束斑直径近可能小的电子束,作为X射线的激发源。为此,一般也采用钨丝热发射电子枪和2-3个聚光镜的结构。为了提高X射线的信号强度,电子探针必须采用较扫描电镜更高的入射电子束流(在10-9-10-7A范围),常用的加速电压为10-30KV,束斑直径约为0.5μm。
电子探针在镜筒部分与扫描电镜明显不同之处是由光学显微镜。它的作用是选择和确定分析点。其方法是,先利用能发出荧光的材料(如ZrO2)置于电子束轰击下,这是就能观察到电子束轰击点的位置,通过样品移动装置把它调到光学显微镜目镜十字线交叉点上,这样就能保证电子束正好轰击在分析点上,同时也保证了分析点处于X射线分光谱仪的正确位置上。在电子探针上大多使用的光学显微镜是同轴反射式物镜,其优点是光学观察和X射线分析可同时进行。放大倍数为100-500倍。
DS344-3-600-000壓力開關hydac
ZBE03附件hydac
ZBM300附件hydac
HDA4445-A-400-000壓力變送器hydac
ETS1701-100-000溫度感測器hydac
TFP100附件hydac
S.S附件hydac
SZ-0-40-D-T過濾器hydac
EDS3476-2-3000-400壓力開關hydac
EDS3476-3-3000-400-F1壓力開關hydac
EDS345-1-250-000壓力開關hydac
ZBM300接頭hydac
EDS348-5-250-000壓力開關hydac
ZBE08接頭hydac
EDS348-5-250-000壓力感測器hydac
EDS3446-3-0400-000壓力感測器hydac
FSK-176-2.5/O/-/12液位計hydac
EDS3346-3-0016-000-F1壓力開關hydac
EDS3446-3-0250-000壓力開關hydac
ETS326-3-100-000溫度開關hydac
ZBE06附件hydac
0660R020BN4HC濾芯hydac
EDS346-3-400-000壓力感測器hydac
EDS346-3-016-000壓力感測器hydac
ZBE08S-05(5m)附件hydac
ZBM300附件hydac
HDA4744-A-250-000壓力感測器hydac
ETS1701-100-000+TFP100+S.S溫度開關hydac
ETS326-3-100-000+ZBE06溫度開關hydac
EDS346-3-016-000+ZBE06+ZBM300壓力開關hydac
EDS346-3-016-000+ZBE06壓力開關hydac
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