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一、等离子体介绍
1.1产品原理
晶圆等离子清洗机通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质，从而优化材料表面性能，实现清洁、改性、刻蚀等目的。
1.2行业应用
二、产品介绍
2.1产品概述
SPV-100晶圆等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
2.2产品优势
v产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品。
v水平电极设计，可满足软性产品处理需求。
v低耗能、耗气产品。
v便捷的收放板方式。
v真空系统集成，占地面积小。
v合理的等离子反应空间，使处理更均匀。
v集成的控制系统设计，使操作更方便。
2.3产品结构
真空等离子体表面处理系统主要包括三个部分：真空腔及真空系统，等离子体发生器，控制系统。
（A）真空腔及真空发生系统
真空腔固定于机柜框架内，左右两侧为可拆门，因此内部的真空腔及真空系统的维修是极方便的。真空发生系统由波纹管、KF接头、真空泵以及油雾过滤器组成，核心部件真空泵（真空泵组）。
（B）等离子体发生器
等离子体发生器在20Pa-100Pa间给电极板施加电压，产生低温等离子体。利用高频转换技术形成高频电压加到电极板上，当真空腔内达到一定真空度时，产生等离子体放电现象，放电后电路会自动调节电压到适当值，保证电路正常稳定放电。
（C）控制系统
本系统使用MCGS触摸屏、西门子PLC、中文界面。设备的工艺流程控制：真空泵启动->挡板阀开启->达到设定的真空度->通入工艺气体->RF放电->工作时间到破真空->工作完成。设备分自动和手动两种方式。
2.4产品规格
| 真空等离子主机 | ||
| 设备尺寸 | L1000×W900×H1750mm | |
| 重量 | 500Kg | |
| 需求电源 | AC380V，50/60Hz，5线，25A（总空开选型为C型以上） | |
| 等离子发生器规格 | ||
| 电源功率 | 射频 | 中频 |
| 0~600W | 0-1000W | |
| 电源频率 | 13.56MHz | 40 KHz |
| 真空系统 | ||
| 真空泵 | 飞越双级旋片泵（油泵）：60m3/h | |
| 真空管路 | 全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 | |
| 材质 | 铝合金 | |
| 厚度 | 25mm | |
| 密封性 | 军工级焊接密封 | |
| 腔体内部尺寸 | 450×450×500mm（宽×高×深） | |
| 电极板有效尺寸 | 322×351mm（宽×深） | |
| 可用空间间距 | 20mm | |
| 电极板布置方式 | 水平电极板 | |
| 工作托盘 | 标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网） | |
| 工作空间 | 8层 | |
| 工艺气体 | ||
| 流量范围 | 0~300SCCM | |
| 工艺气体气路 | 标配两路，可定制。工艺气体管路为铁氟龙材质 | |
| 控制系统 | ||
| 系统控制 | PLC | |
| 交互方式 | 7寸触控屏幕 | |
2.5.1主机尺寸图纸
2.5.2等离子腔体图纸
三、规格要求
3.1厂务规格要求
| 厂务规格要求 | |
| 交流电源规格 | 电源：AC380V，50/60Hz，5线，25A（总空开选型为C型以上） |
| 厂务排气 | 流量：2.0 m³/min |
| 厂务工作气体要求 | 流量：1~10 L/min 压力：3~7 kg/cm² 管径：6×4 mm 材质：PU管 纯度：99.99%以上 |
| 厂务压缩空气要求 | 流量：1~10 L/min 压力：3~7 kg/cm² 管径：8×5 mm 材质：PU管 露点：-40℃以下 Particle＞0.3μm：10Pcs/ft³ |
3.2
| 配置清单 | |||||
| 序号 | 名称 | 型号和规格 | 数量 | 备注 | |
| 1 | 主机 | SPV-100 | 1 | 台 | |
| 2 | 真空腔体 | 铝合金真空腔体 | 1 | PCS | |
| 3 | 激励电源 | 射频电源 | 中频电源 | 1 | 套 |
| 频率：13.56MHz； 功率：0~600W 全自动真空电容匹配器 | 频率：40KHz； 功率：0~1000W; | ||||
| 4 | PLC | 德国西门子，S7-200 | 1 | PCS | |
| 5 | 触摸屏 | 昆仑通态，七寸屏幕，TPC7072GI | 1 | PCS | |
| 6 | 流量计 | 英国warwick品牌 | 2 | PCS | |
| 7 | 真空泵组 | 飞越双级旋片泵（油泵）：60m3/h | 1 | 台 | |
| 8 | 真空计 | 爱德华 | 1 | PCS | |
| 9 | 说明书 | 真空等离子清洗机SPV-100操作说明书 | 1 | 份 | |
3.3
| 验收标准 | ||
| 项目 | NO. | 内容 |
| 硬件验收 | 1 | 设备清单验收 |
| 2 | 出厂报告 | |
| 3 | 说明书 | |
| 性能验收 | 1 | 试用样品进行处理，处理效果和均匀性满足客户验收标准或者合同协议要求。 |
| 稳定性测试 | 1 | 连续10分钟等离子清洗测试 |
| 2 | 试片水滴角测试 | |
| 验收日期 | 1 | 设备交付后 2 个月内必须完成验收 |
3.4
| 损耗清单 | ||||
| 序号 | 名称 | 型号和规格 | 数量 | 寿命时间 |
| 1 | 真空泵过滤芯 | AF60 | 1PCS | 6个月 |
| 2 | 真空泵油 | A200 | 5L | 3个月 |
| 3 | 腔门密封圈 | Φ10 | 1PCS | 1年 |
