安捷伦7500型电感耦合等离子质谱仪特点：

安捷伦新的7500系列具有*自动化的易于使用、灵活性、可靠性以及优秀的设计，它提供了分析性能。新的7500系列可配备第二代八级杆反应池(ORS)技术，提供多种选择的进样附件、好的应用与维修服务支持，它正在实验室进入ICP-MS时代。

ICP-MS分析特性：

● 可快速同时检测周期表上几乎所有元素

● 低的检出限（低至ppq级）

● 分析效益/成本比**

● 宽的线性动态范围—可直接检测从ppq到数百ppm浓度

● 谱线简单、干扰小，准确度和精密度好

● 需要样品量很低(ul至ml)，分析速度很快（1～3分钟/样品）

● 检测模式灵活多样

半导体工业常用材料中超痕量污染物分析：

固体：Si;GaAa单晶切片；石英、碳化硅等炉材料；高纯金属电极等

液体：超纯水；HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等

气体：SiH4;TE0S;NF3;N2等

Agilent ICP-MS可直接分析有机样品：

Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等离子体技术已被用于测定一系列有机样品的ppt级痕量污染元素。

● 对其中一些样品，其他方法无法得到满意的结果，高功率屏蔽矩冷等离子体技术是**的分析方法。

● 强碱性清洗剂——四甲基氢氧化氨(TMAH)等

● 常用有机溶剂——甲苯、二甲苯、IPA等

● 高基体样品——光刻胶、液晶、BPSG、PSG等挥发性*的清洗剂——丙酮、甲醇等。

安捷伦7500型电感耦合等离子质谱仪应用：

● 环境样品分析，包括自来水、地表水、地下水、海水以及各种土壤、废弃物等的分析；

● 半导体材料分析

● 玻璃、陶瓷和矿冶等样品分析；

● 地质学研究；

● 生物食品及医药临床研究；

● 核材料分析

● 石油化工样品分析；

● 法医应用与研究；

● 近，与分离技术联用进行环境毒理、生命科学等领域的元素价态、形态分析成为ICP-MS技术应用的一个焦点。