光学元件镀膜机先进的技术介绍
时间：2015-12-29 阅读：3857
在可见光和红外线波段范围内，大多数金属的反射率都可达到78%~98%，但不可高于98%。无论是对于CO2激光，采用铜、钼、硅、锗等来制作反射镜，采用锗、砷化镓、硒化锌作为输出窗口和透射光学元件材料，还是对于YAG激光采用普通光学玻璃作为反射镜、输出镜和透射光学元件材料，都不能达到全反射镜的99%以上要求。不同应用时输出镜有不同透过率的要求，因此必须采用光学镀膜方法。
对于CO2激光灯中红外线波段，常用的镀膜材料有氟化钇、氟化镨、锗等；对于YAG激光灯近红外波段或可见光波段，常用的镀膜材料有硫化锌、氟化镁、二氧化钛、氧化锆等。除了高反膜、增透膜之外，还可以镀对某波长增反射、对另一波长增透射的特殊膜，如激光倍频技术中的分光膜等。
那诺中国有限公司生产的光学元件镀膜机提供的技术，在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光，然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆，整个过程不间断真空。光学元件镀膜机系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用，同时具备各自的自动上/下载片功能。
光学元件镀膜机选配项:
向下/向上溅射
共溅射
DC，RF以及脉冲电源
离子束辅助沉积
电子束源
等离子源
光学元件镀膜机
光学元件镀膜机