NANO-MASTER产品应用于LED、微机电系统、光电子学、纳米技术、太阳能电池、半导体和空间模拟等。主要产品有用于SiO2/Si3N4/DLC/CNT/石墨烯等沉积的PECVD等离子体化学气相沉积，溅射系统（RF/DC/反应溅/共溅/组合溅），热蒸镀和E-Beam蒸镀，ALD原子层沉积，用于InGaN/AlGaN等氮化物沉积的PA-MOCVD，IBE/RIE/ICP/DRIE刻蚀系统，兆声波无损湿法清洗/去胶/剥离/刻蚀系统，热真空系统。