NMC-3000等离子辅助MOCVD

NMC-3000等离子辅助MOCVD

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-13 12:19:13
1887
属性:
产地类别:进口;应用领域:医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药;
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产品属性
产地类别
进口
应用领域
医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药
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那诺中国有限公司

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产品简介

NMC-3000等离子辅助MOCVD系统:针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)、PC全自动控制。

详细介绍

等离子辅助MOCVD技术

NMC-3000等离子辅助MOCVD概述:NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)、PC全自动控制,*的安全互锁。

目前,这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统,该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。

NMC-3000等离子辅助MOCVD应用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)

NMC-3000等离子辅助MOCVD系统特点:

 

 

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