热真空系统

NDT-4000热真空系统概述：NDT-4000是NANO-MASTER器件测试系统，用于极真空及可控均匀的加热和冷却循环套件下测试器件或样品。该系统具有计算机控制、安全连锁，以及多级密码授权访问保护的功能。它可以用于超过24小时的圈子全自动热、冷循环情况下测试器件/样品，温度条件通过程序定义。该系统z通常的应用之一是太空模拟。

系统腔体的大致尺寸为：直径24"，长度43"。带有一个16"x32"的滑动加热平，可以冷却到零下100摄氏度。热真空平台也可以加热到150摄氏度，具有高度的均匀度。在去边3cm后整个平台的温度均匀度可达 /-1摄氏度。加热平台安装在滚轴上，可以方便拉出至大到75%的长度，腔体提供20个RF连接头，尺寸为2.92mm，可以支持高达40GHz的频率。腔体的两侧分别有一个50针的引线。真空系统包含HiPace1200（1000 L/s抽速）涡轮分子泵以及一个ISP500干泵，系统的极限真空可达7x10-8Torr，20分钟内可达到10-6Torr级别。

另外，我们可以根据客户需要提供定制的引线、额外的仪器法兰以及真空泵升级等。

NDT-4000热真空系统应用：

Device Testing in Temperatures -100 ⁰C to 150 ⁰C in Extreme Vacuum for Space Simulation

用于模拟太空环境极真空下温度从-100 ⁰C 到 150 ⁰C情况下的器件测试

产品特点：

• Controllable uniform heat and cold cycle conditions 可控的均匀加热行业冷却循环条件
• Computer controlled 计算机控制
• Safety interlocks  完整的安全联锁
• Multiple levels of access with password restrictions  4级密码访问保护
• Chamber size is 43” in length and 24” in diameter 腔体尺寸43”长，24”直径
• Sliding thermal platform of 16” x 32” cooled to -100⁰C 滑动式加热平台的面积为16”x32”，可冷却到-100⁰C
• Thermal platform can also be heated to 150⁰C with 3 cm exclusion zone around the edges achieving the uniformity of ±1⁰C throughout the platform 
• 热平台可加热到150⁰C，去边3cm后平台的热均匀度可达±1⁰C
• Thermal platform is mounted on rolls so that it can be pulled out to 75% of its length for loading devices/samples  热平台安装在滚动轴上，可以拉出总长度的75%，便于器件/样片放置取出
• Chamber has a provision of 20 RF connectors 2.92mm size which can hold up to 40 GHz of frequency 腔体提供20个RF连接器，尺寸为2.92mm，可以支持到40GHz的频率
• Two 50 pin DC feedthroughs are also provided on either sides of the chamber  提供2个50 pin的DC直流引线，分别位于腔体的两端
• Vacuum system consists of turbo molecular pump and dry scroll pump  真空系统包含涡轮分子泵和干泵
• Base pressure 7 x 10-8 Torr, 10-6 Torr range in less than 20 minutes  极限真空7x10-8Torr，20分钟以内可以达到10-6Torr级别
• Custom feedthroughs   可根据客户需要提供引线定制方案
• Additional instrumentation flanges and pump upgrades can be done upon request  可根据用户需要提供额外的仪器法兰及真空泵升级

软件：

• 实时温度曲线
• 程序开发
• 全自动抽真空及卸压
• 全自动温度控制
• 实时涡轮速度、系统真空和温度监控
• 两个Excel表的数据记录用于评估

厂务要求：

• 主腔体尺寸为：50"Hx50"26"D
• 制冷单元尺寸为：67"Hx36"26"D
• 制冷单元变压器：27"Hx23"15"D
• 电源要求：380V，3相交流电，35A/相
• 主系统冷却水：20-30PSI，1.5gpm流速
• 冷却单元冷却水：20-30PSI，5gpm流速
• N2：80PSI