Platens样品台

Platens样品台

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-13 13:25:58
1884
属性:
产地类别:进口;应用领域:医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药;
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产品属性
产地类别
进口
应用领域
医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药
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那诺中国有限公司

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产品简介

NANO-MASTER(那诺-马斯特)Platens样品台,又称为基板或加热板,是真空镀膜设备中常用到关键部件。因此样品台可以整合到RIE刻蚀、ICP刻蚀、PECVD、ALD等刻蚀和沉积设备中,给晶圆等样片进行均匀加热和冷却处理,为微纳米薄膜工艺提供精确的温度环境。

详细介绍

NANO-MASTER Platens样平台

NANO-MASTER(那诺-马斯特)Platens样品台使用技术,加热均匀性*。NANO-MASTER的样平台(或称为基板、热板)可以加入射频偏压、水冷却、通过模块控制700°C范围的温度。基板的高度可调节,基片可旋转,真空腔体内没有任何引线。任何地方不会出现短路或电弧,因为所有引线、电热偶和冷却水管道都保持在大气压下。NM样品台可以直接安装到你的系统中,无论是RIE刻蚀、ICP刻蚀、ALE刻蚀,还是PECVD、ALD等沉积设备中,我们的基板都可以很方便的配套使用

Platens样品台可应用的设备:

尺寸:

Platens不同型号对应温度上限:

Different models allow for different temperature limits:

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