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硅烷传感器(SIH4传感器)
一、硅烷传感器(SIH4传感器)概述:
硅烷作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业, 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层, 并且是迄今世界上*的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。
现在电子气体的使用越来越多,半导体的生产、LED的生产、晶体加工、精密加工等行业带来很多麻烦,这些毒气的检测都离不开SIH4.
二、选型表:
三、应用领域:
生产过程安全检测、环境污染检测、大气环境检测、垃圾焚烧烟气监测
四、技术参数:
产品名称:高精度硅烷(SIH4)传感器 SIH4/C-50
产品主要参数:
测量范围:0~50ppm
zui大负载:ND
工作寿命:空气中2年
输出信号:1000±300nA/ppm
分辨率:0.2 ppm
温度范围:-40°C to 45°C
压力范围:标准大气压± 10%
响应时间(T90):﹤60sec
相对湿度范围:15%to90%
典型基线范围(纯净的空气, 20 ℃ ):0 to -1ppm
zui大零点漂移(20°C to 40°C):ND
长期输出漂移:﹤2% signal loss/months
推荐加载电阻:10 Ω
偏置电压:不需要
产品名称:高精度硅烷(SIH4)传感器 SIH4/M-50
产品主要参数:
测量范围:0~50ppm
zui大负载:ND
工作寿命:空气中2年
输出信号:500±60nA/ppm
分辨率:0.3 ppm
温度范围:-40°C to 50°C
压力范围:标准大气压± 10%
响应时间(T90):﹤60sec
相对湿度范围:15%to90%
典型基线范围(纯净的空气, 20 ℃ ):0 to -1ppm
zui大零点漂移(20°C to 40°C):ND
长期输出漂移:﹤2% signal loss/months
推荐加载电阻:10 Ω
偏置电压:不需要
产品名称:高精度硅烷(SIH4)传感器 SIH4/S-50-S
产品主要参数:
测量范围:0~50ppm
zui大负载:ND
工作寿命:空气中2年
输出信号:1000±300nA/ppm
分辨率:0.2 ppm
温度范围:-40°C to 45°C
压力范围:标准大气压± 10%
响应时间(T90):﹤60sec
相对湿度范围:15%to90%
典型基线范围(纯净的空气, 20 ℃ ):0 to -1ppm
zui大零点漂移(20°C to 40°C):ND
长期输出漂移:﹤2% signal loss/months
推荐加载电阻:10 Ω
偏置电压:不需要
产品名称:高精度硅烷(SIH4)传感器 SIH4/S-50
产品主要参数:
测量范围:0~50ppm
zui大负载:ND
工作寿命:空气中2年
输出信号:1000±300nA/ppm
分辨率:0.2 ppm
温度范围:-40°C to 45°C
压力范围:标准大气压± 10%
响应时间(T90):﹤60sec
相对湿度范围:15%to90%
典型基线范围(纯净的空气, 20 ℃ ):0 to -1ppm
zui大零点漂移(20°C to 40°C):ND
长期输出漂移:﹤2% signal loss/months
推荐加载电阻:10 Ω
偏置电压:不需要
五、 结构:
六、 图片: