等离子表面处理仪的优点：

1.可清除表面有机污染物。

2.清洗快速、操作简便、使用和维护成本较低。

3.非破坏性、对被清洗物表面光洁度无损害。

4.绿色环保、不使用化学溶剂、无二次污染。

5.常温条件下清洗，被清洗物的温度变化微小。

6.能清洗各种几何形状、粗糙程度各异的表面。

应用：

1.表面清洗：设备生产的等离子体内有大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，通过物理及化学反应，将表面污染物、杂质清除，达到表面清洗的作用。

2.表面改性：等离子体与物体表面发生反应，使得物体表面的化学键断裂，等离子体中的自由基反应生产新键，大大提供表面活性，有利于粘接、涂覆等工艺。

3.表面刻蚀：通入腐蚀性气体进行等离子体反应时，气体与物体表面反应生产挥发性物质，通过真空泵抽离，在表面形成需要的图案、形状，完成刻蚀效果。