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扫描电镜等离子清洗机是怎么工作的?

时间:2024-12-05      阅读:152

扫描电镜等离子清洗机是一款专为扫描电子显微镜(SEM)样品准备而设计的高效清洗设备。该机利用等离子体技术,通过活性气体的激发,去除样品表面的有机污染物和微尘,确保样品在显微观察中的清洁和高质量成像。

扫描电镜等离子清洗机的工作原理主要基于等离子体的化学反应和物理作用。通过高频电磁场激发工作气体,使气体分子电离并产生高能等离子体。这些等离子体在电场作用下获得足够的能量,与周围的气体分子发生碰撞,进一步产生更多的高能活性粒子。这些高能粒子与待处理材料表面进行碰撞,将表面附着的污染物撞击并脱离表面,从而达到表面清洁的目的。同时,等离子体中的活性粒子与材料表面还可能发生化学反应,生成挥发性物质,将污染物转化为易于去除的形式,进一步净化表面。

本公司提供的CIF扫描电镜等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计,清洗快速、高效、低轰击损伤,扫描电镜等离子清洗机主要用于SEM或FIB等腔体内碳氢化合物的清洗。 

 


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