等离子电源

13.56MHz 等离子射频电源，射频功率 5-150W 可调

远程等离子源，自动匹配器

清洗室

清洗室尺寸 Ø180xH100mm

清洗数量

可同时清洗 3 支 TEM 样品杆

适配品牌

美国 THERMO FISHER（FEI）、日本日立（HITACHI）、日本电子（JEOL）

气体控制

标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm/ 分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空控制

皮拉尼真空计，测量范围 1.0E-5Pa~1E+5Pa

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7 寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面

真空泵

前级泵

抽气速率 2.5 m³/h

分子泵

极限真空：LF<8*10-6Pa，CF<8*10-7Pa

分子泵抽速 85L/s（N2）

入口法兰：DN63 ISO-K(LF)/ CF

质量保证

二年质保，终身维护

电    源

AC220V、50/60Hz，300W

产品尺寸

L565xW505xH560mm

包装尺寸

L715xW655xH820mm

整机重量

68kg