舱体尺寸

300xΦ100mm

300xΦ100mm

舱体容积

2.6L

2.6L

射频电源

40KHz

13.56MHz

匹配器

自动匹配

自动匹配

射频功率

10-200W无j可调

10-150W无j可调

电 源

220V 50/60HZ

电 流

1.2A

时间设定

1-99分59秒

气体稳定时间

1分钟

真空度

100pa以内

激发方式

电容式

产品尺寸 LxWxH

550x520x285mm

包装尺寸 LxWxH

690x630x450mm

整机重量

15Kg

18Kg