流量校准设备产品概述

• 原理：层流原理
• 流量校准范围：1SCCM-5000SLPM
• 该流量校准系统流程：气瓶-减压阀-稳压阀-截止阀-标准流量测量元件（molbloc）-被校准对象-流量测量主机（molbox）。
• 校准对象：质量流量计、质量流量控制器、转子流量计等
• 校准精度：0.5%，0.2%和0.125%可选

流量校准设备测量元件介绍

型号：molbloc-L&molbloc-S

molbloc 流量元件通过两个压力连接件和一根数据线连接到 molbox RFM 上。molbox RFM 从 molbloc EEPROM 读取校准数据，并利用其内置的高精度参考压力传感器 (RPT) 测量 molbloc 的上游压力和下游压力。欧姆测量系统读取 molbloc 铂电阻测温仪的电阻，然后由此计算 molbloc 温度。利用存储在 molbox RFM 内存中的 molbloc 校准数据、压力、温度和气体属性，可计算出通过 molbloc 的气流流速。对于 molbloc-L 流量元件，在流量量程 10% FS 以下时，可以选择微量程选项来提高流量测量分辨度和精确度。

特点

·         结构紧凑

·         molbloc-L 覆盖的流量量程从 1 sccm 到 100 slm，而 molbloc-S 覆盖的流量上限更是达到了 5000 slm

·         从 20 种不同的气体中选择

·         利用 100:1 可调性实现认证的测量不确定度 ±0.5% 读数（连接molbox RFM）

·         内部阀门，可实现内置的清洗、泄漏测试和自重支持

·         包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等高级测量函数

·         完善的前面板控制以及 RS232 和 IEEE-488 远程通信

·         利用可由用户设置的参考压力和温度状态，测量质量和体积流量

测量主机介绍

功能：可以用来控制质量流量控制器，设定气体种类，转换系数，显示流量测量元件的流量值，可连接PC，实现全自动化流量校准功能。

主要型号：molbox RFM，molbox 1，molbox 1 （molbox1升级版）

精度：molbox RFM：0.5%读数，molbox1，0.2%读数，可选0.125%读数

的不确定度参数

molbox1 的创新性让 molbloc/ molbox1 系统实现了行业内极低的气流测量不确定度。多个关键点的改善让更低的不确定度成为可能，包括：

·         使用福禄克计量校准部专有的石英参考级压力传感器 (Q-RPT) 技术来精确测量绝压和差压。molbox1 Q-RPT 是根据福禄克计量的校准部压力传输标准在相同技术下专门定做的传感器。

·         高级 molbloc 校准作业能够使 molbloc 流量输出线性化，从而更好地获取准确度和可溯源性。

·         扩展 molbloc 模式化可提高 molbloc-L 层流元件在工作压力量程内的性能。

·         利用 NIST 参考液体热动力与输送属性数据库 (REFPROP) 来降低气体属性的不确定度。

·         使用福禄克计量校准部的动态重力流量标准来进行基础质量与时间质量流量测量，并以此基础不断改善福禄克计量校准部的 molbloc 校准链。