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一、微小流量质量流量控制器产品特点
1、50毫秒内完成稳定的控制响应
精确、稳定的流量取决于控制响应速度,艾里卡特?质量流量控制器50毫秒内即可到达新的设定值。快速、可重复、稳定!
拥有可靠的稳定性及响应速度,艾里卡特?质量流量控制器总是一击击中,为快的质量流量控制器!采用艾里卡特?的层流压差流量测量技术与高速比例控制阀相结合,使得到达设定值的速度远远快过您眨一下眼。
2、操作便捷
? 50-100毫秒控制响应
? 允许用户自行调节PID以获得的速度和稳定性
? 定制化阀门孔径以保证满量程流量的稳定性
? 同一台设备控制质量流量、体积流量或压力
? 瞬间启动、无需预热:1秒内即可开始流量控制
二、微小流量质量流量控制器产品系列
MC 标准系列
控制响应快、稳定的流量控制器。
MCR 大流量系列
精确控制大流量(50-3000 slpm)气体。艾里卡特?R系列阀门为*的无摩擦阀门,可精密控制大流量的气体流量,特殊的孔状模式允许我们根据您的应用需求量身定制阀门。
MCW / MCRW 低压损系列
大限度减小压损对系统的影响,满量程压损低仅为4mbar(0.06 psid);艾里卡特?Whisper低压损系列质量流量控制器可控制接近大气压的压力,是航空航天、环境气体分析等应用的选择;大量程:0-500 slpm。点击这里了解更多关于Whisper系列
MCS / MCRS 耐腐蚀系列
所有量程均可采用适用于腐蚀性气体的316L不锈钢结构。 点击这里了解更多关于耐腐蚀系列
MCE / MCV 半导体行业系列
可快速、简易地替换老化陈旧的热式流量控制器,可任意定制引脚功能使之与您的控制系统兼容,封闭式阀门设计更是符合半导体行业标准。MCV系列另增加了后置的气动截至阀 ,专门用于真空应用。可定制相应的防腐蚀系列MCES / MCVS。大量程:0-20 slpm. 点击这里了解更多关于半导体行业系列
MCD / MCRD 双向质量流量&压力控制器系列
*双向质量流量控制器,可正向或反向控制气体流量。可定制低压损系列MCDW系列及防腐蚀型MCDS系列。 点击这里了解更多关于双向质量流量&压力控制器系列
三、常用选配项
? 后置阀门,优化真空及背压应用的控制
? 批量控制模式,依靠快速的阀门响应来分配流量,包含在累加器(TOT)功能中
? CSA认证1类2区 / ATEX认证1类2区允许设备用于危险环境
? 9针或15针D-Sub等连接接口可选
? 通讯模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可选
? 彩色背光显示屏适用于光线不足的场合
四、性能参数
指标 | 质量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM |
精度 | ±0.8%读数±0.2%满量程(可选高精度:±0.4%读数±0.2%满量程) |
重复性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
响应时间 | 100ms |
标准状态(STP) | 25℃&14.696PSIA (101.325kPa) |
温度范围 | -10~50 |
零点漂移 | 0.02% |
量程漂移 | 0.02% |
湿度范围 | 0-100% |
测量流量范围 | 128%(过流率) |
大耐压 | 145psi |
输出信号(数字) | 质量流量、体积流量、压力和温度 |
数字信号可选 | RS485,Modbus,Profibus |
输出信号(模拟) | 质量流量、体积流量、压力和温度 |
模拟信号可选 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA |
电气连接 | 8针/9针/15针(根据不同类型流量计而定) |
供电电压 | 7-30VDC(4-20mA输出时为:15-30VDC) |
供电电流 | 0.035A(4-20mA输出时为:0.055A) |