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仪器简介：
HALO 201 MBE 分子束外延残余气体分析四极质谱仪用于泄漏探测、趋势分析、真空诊断的过程监测和残余气体的分析。 该分子束外延特定分析质谱仪由兼容性材料组成，并能在分子束外延环境中长期使用。
主要特点：
1、钼铜布线增加MBE环境下系统的寿命
2、抗污染离子源护罩
3、双法拉第/ channelplate电子倍增器
HALO 201 MBE 残余气体分析四极质谱仪技术规格：
·质量数范围：1～300 amu
·扫描速度：100amu/s
·小扫描步阶：0.01amu
·灵敏度：0.1 ppm～1ppm
·稳定性：24h以上，峰高变化小于±0.5%
·小检测分压：2 x 10-13 mbar
·大工作压力：1 x 10-4 mbar
