腐蚀性气体分析质谱仪

HPR-80腐蚀性气体分析质谱仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-22 10:13:43
6138
属性：
产地类别:进口；价格区间:100万-150万；检测限:5ppb；应用领域:化工,电子,冶金,航天,电气；质量数范围:510amu；最小检测分压:5E-14 mbar；
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产品属性
产地类别
进口
价格区间
100万-150万
检测限
5ppb
应用领域
化工,电子,冶金,航天,电气
质量数范围
510amu
最小检测分压
5E-14 mbar
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英格海德分析技术有限公司

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产品简介

腐蚀性气体分析质谱仪HPR-80（ Reactive/Corrosive Species Analyzer）是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器，快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体，如反应中间产物，HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等强腐蚀性与半导体工艺气体。

详细介绍

20年前，Hiden在期刊《Physics Today》今日物理学杂志发布了HPR-80腐蚀性气体分析质谱仪，初期主要应用于半导体行业的特气检测，如毒性气体AsH3、B2H6、PH3等，强腐蚀性气体如如HCI、HF、CIF3等，强氧化性气体如CIF3、NF3等。

20年来，Hiden在这一细分领域具有强大的产品力，针对不同程度的腐蚀气体分析，提供不同的解决方案。

HPR-80腐蚀性气体分析质谱仪非常适用于分析腐蚀性气体，HF，HCl，HBr和卤代烃气体工艺产生的反应产物。

主要特点：

1、连接件电抛光工艺处理

2、取样压力：1mTorr to 1000Torr

3、高灵敏度三级过滤四极杆

4、检测限可达 5 ppb

5、QGA专业版定量分析软件

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