石英材质，线宽精度±0.2um，深度精度≤20nm，相位光栅

衍射光栅的种类很多，分为振幅光栅和相位光栅，还可分为反射光栅和透射光栅，平面光栅和凹面光栅等。此文讲述的光学光栅是反射/透射型，锯齿型/台阶型相位光栅，具有精度高，应用广以及可定制等特点。

位相光栅，英文名Phase Grating，是一种利用光的干涉来分光的光学元件，当光波通过光栅后，振幅并没有变化，但是相位有周期性的变化，从而改变光栅的衍射。其中，透射光栅是相位光栅中的一个分类，通常用于激光束分离和可见光多波长激光光谱分离，而且透射光束会衍射成多个不同级次。衍射相位光栅主要是分光，是通过透射或反射光的相位差实现调制和分离的，线宽精度和深度精度分别是±0.2um和≤20nm，通过光刻技术制作，主要应用于衍射分光和脉冲压缩等应用。维尔克斯光电的高精度光栅是一个非常不错的选择，如图1，有锯齿型和台阶型的光栅供用户选择，而且还可根据用户的应用需求定制合适的精密光栅。国产相位光栅，石英材质，线宽精度±0.2um

图1：锯齿型和台阶型平面图示

衍射相位光栅的特点：

- 高精度

- 应用范围广

- 具有反射/透射型光栅

- 利用光刻技术制作

- 线宽精度±0.2um，深度精度≤20nm

衍射相位光栅的应用：

- 机器视觉

- 摩尔条纹

- 衍射分光

- 激光检测

- 脉冲压缩

- 光通信、光存储、光学成像等

位相光栅规格型号表：（光栅的销售方式一般为定制，起订量10片，更多详情，请联系我们。）

国产相位光栅，石英材质，线宽精度±0.2um