长行程，高精度，压电纳米定位，紧凑型纳米压电定位台SP-Mini-500

英国Prior·queenstage 推出的压电纳米定位平台：SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台，是一款用于纳米样品定位的长行程电动Z轴，闭环行程500um。SP-Mini-500压电纳米定位台，占地面积小，是理想的易于集成在仪器或测试设备中的紧凑型纳米压电定位台。该Prior·queenstage的纳米压电位移平台具有非常低的运动误差，内置电容式定位传感器可实现超高速性能和低纳米级重复性。PRIOR紧凑型纳米压电定位平台

SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台的平台在整个500微米的行程范围内保持非常稳定的状态。这使得样品架可以偏移放置。此电动Z轴在保持高性能定位的同时提高了对检测设备对于样品的定位能力。此Prior•queenstage的压电纳米定位台的样品架和载物台可以定制，以适应从显微镜到硬盘测试和半导体检测的广泛应用。

SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台

紧凑型纳米压电定位台SP-Mini-500的主要特点：

-＞500 um行程，纳米级分辨率

-非常低的旋转误差为0.0025°

-电容式定位传感器，提供较高位置精确度和准确度。2 nm分辨率和5 nm重复度

-线性误差一般为＜0.002%

-动态性能：空载谐振频率一般为210 Hz，同服环路带宽可达55 HZ

-原位扫描和步进响应优化

-即插即用：载物台连接器包含载物台校准数据和参考传感器，便于控制器互换

-压电纳米定位

SP-Mini-500压电纳米定位台主要应用：

 -高精度显微镜：共聚焦和光片等

 -硬盘检测

 -半导体检测和制造

 -配合科学和医疗研究设备使用

-镜片定位

-纳米压电位移和纳米样品定位等

压电纳米定位台SP-Mini-500的技术规格    

Prior电动Z轴SP-Mini-500压电纳米位移台的可选配件：

-35 mm培养皿插件

-单波片夹具

纳米压电位移台SP-Mini-500需要配合英国Prior·queenstage专门为压电纳米定位设备研发的NPC-D-6110控制器。其强大的数字控制器可以最快的速度驱动纳米压电位移台SP-Mini-500。

PRIOR紧凑型纳米压电定位平台