奥林巴斯BX51M金相显微镜产品说明

暗视场观察法
表面安装板

暗视场可以让用户观察来自样本散射和衍射的光线。光源的光线会先穿过照明装置中的环形光学照明器件，然后在样本上聚焦。样本上的光线只是由Z 轴上的瑕疵反射形成的。因此，用户可以观测到比光学显微镜分辨极限更小的、8 nm 级的微小划痕和缺陷。暗视场适合检测样本上的微小划痕及瑕疵和检查表面光滑的样本，包括晶圆。

偏振光观察法
石棉

奥林巴斯BX51M金相显微镜观察技术所使用的偏振光是由一组滤镜（检偏振器和起偏振器）产生的。样本特征会直接影响系统反射光的强度。该观察法适用于观察金相组织（例，球墨铸铁中石墨的生长图案）、矿物、LCD 和半导体材料。

微分干涉（DIC）观察法
磁头

DIC 是一种显微观察技术，可以将明视场观察法中无法检测到的高度差异，用增强的对比度以浮雕或三维图像的形式表现出来。该项基于偏振光的技术，拥有三个专门设计的棱镜可供选择以满足用户的需求。该观察法适用于检测高度差异极其微小的样本，包括金相组织、矿物、磁头研磨面和硬盘表面及晶圆研磨面。

荧光观察法
半导体晶圆上的颗粒 

该项技术适用于观察那些在受到专门设计的滤镜（可以按照检测需要制作）照明时会发出荧光（发出不同波长的光线）的样本。该方法通过荧光染色，应用于观测半导体晶圆表面的污物、抗蚀剂的残渣和裂痕的检测。可以添加选购的复消色差光源聚光透镜系统，从而为可见光到近红外线范围内的色差进行补偿。

IR（红外线）观察法
硅晶片层下的半导体电路

对使用了硅片、玻璃等易透射红外线的电子设备的内部进行无损检测时，IR 观察十分有效。IR 物镜也可用于近红外线技术，如：拉曼光谱仪和YGA 激光修复应用。

处理滤镜
枝晶

OLYMPUS Stream 拥有各种滤镜，可用于边缘检测、平滑处理和其它操作。使用处理滤镜在拍摄的图像上进行增强和修改处理后，图像的特征变为可视化。为达到效果，可使用预览图检查或调整滤镜的效果。

透射光观察法
LCD彩色滤镜

对于透明样本，如，LCD、塑料和玻璃材料，可通过使用各种透射光聚光镜实现真正的透射光观察。使用透射光可以在明视场、暗视场、DIC 和偏振光中对样本进行成像和检查--所有这些都在一个便捷的系统里。

自动制作3D 图像（EFI）
硬币细节

使用BX61 或外部电动调焦单元，便可以快速地记录并组合超出焦深之外的样本的图像。只需一键操作，使用EFI 功能便可以将各个不同焦深的图像合成一幅3D 图像。zui终的3D数据可用于3D 观察或用于测量高度和距离。

详细参数: