plasma等离子清洗机 （清洗器）

（1）产品简述

（1.1）等离子清洗的作用

等离子清洗的作用原理主要是：

（A）对材料表面的刻蚀作用--物理作用

等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

（B）激活键能，交联作用

等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

（1.2）产品原理

等离子清洗机的结构主要分为三大组成部分，分别是高压激励电源、等离子发生装置喷枪、控制系统。

（A）高压激励电源：

等离子体的产生需要高压激励，大气低温等离子采用射频电源进行激励，频率为13.56MH，激励均匀稳定。参数根据样品实际情况可进行调节，已达到*的改性效果。

（B）等离子发生装置喷枪：

大气低温等离子发生装置采用进口设计的放电装置，放电效果均匀，处理高度高。

（2）晟鼎真空等离子清洗机 表面活化机技术规格