此款小型离子溅射镀膜仪主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合SEM 制样*的仪器。设备配有微量充气阀调节工作真空，在 20Pa 真空保护。同时，配有进气口和微量充气调节装置，以方便空气或氩气等工作气体充入。

镀膜仪主要特点：

• 显示操作面为60°斜面，充分考虑操作的便捷和视觉体验，方便观察操作；

• 真空泵连接管路为金属波纹管，美观耐用；

• 微调阀调节灵敏准确，带有刻度标识；

• 真空泵抽速快，噪音低，适合实验室使用；

• 控制电路为控制板，工作稳定可靠；

• 显示控制操作部分布局合理，位于同侧，使用方便；

• 结构简单可靠，布局合理，维修操作空间大；

技术参数：

1. 玻璃处理室：Φ108mm,高度135mm;

2. 试样台尺寸：Φ40mm,可同时放6个样品杯；

3. 金靶尺寸：Φ57mm;

4. 真空系统：静音直联旋片真空泵2L/S；

5. 真空检测：定制皮氏计，配合真空指针表，灵敏可靠；

6. 真空保护：20pa配有微量充气阀调节工作真空；

7. 工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气进气口和微量充气节。