型    号          

VideoCheck-IP250/400

测量范围

(X轴) 

250mm           400mm

(Y轴) 

125mm           200mm

(Z轴) 

250mm           250mm

zui大允许测量误差¹⁾

(E1单轴精度）

(0.95+L(mm)/400)μm    

(E2平面精度）

(1.50+L(mm)/300)μm

(E3空间精度）

(2.50+L(mm)/250)μm

zui大允许测量误差²⁾

(E1单轴精度）

(0.95+L(mm)/150)μm

(E2平面精度）

(1.50+L(mm)/200)μm

(E3空间精度）

(2.50+L(mm)/150)μm

分辨率

0.1μm

工作台承重

30kg             40kg

定位速度

200mm/s

加速度

300mm/s²

仪器重量

380kg            480kg

功耗

1000VA

¹⁾精度保证环境条件

20℃±1^o Δ=0.5 ^o/h

²⁾精度保证环境条件

20℃±2^o Δ=1 ^o/h

适用温度

10-35℃

精度检定光学放大倍率

5X