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微纳加工平台-图形发生
Hybrid Bonding 混合键合 聚焦离子束加工 电子束曝光 纳米压印 光刻/键合系统

薄膜制备
原子层沉积系统ALD 磁控溅射 薄膜沉积CVD 椭偏仪

材料刻蚀

表征检测
原子力显微镜 扫描电子显微镜 扫描探针显微镜 三维光学轮廓（白光干涉） 探针轮廓仪（台阶仪） 纳米压痕（硬度计） X光检测，X射线衍射仪检测

化合物半导体-工艺设备

推拉力

Metcal电烙铁、耗材
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