Thorlabs NanoMax™ 6轴挠性位移台MAX603D，纳米定位

Thorlabs的NanoMax™ 6轴纳米定位挠性位移台采用平行的挠性设计确保精确平滑的连续运动，摩擦几乎可以忽略。对于复杂的多轴定位应用，平行挠性位移台将三个以上自由度集成在单个小型装置中，明显比按序堆叠位移台的设计具有好的性能。非常适合光纤耦合系统，或需要亚微米分辨率的应用。

同时我们提供带或不带预配置压电驱动器（开环/闭环）、差分或步进电机驱动器的版本。位移台的标称载物台高度为112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度为112.5 mm的5轴位移台套件。我们也提供转接板，用于将3轴和4轴挠性位移台的载物台高度从62.5 mm提升到112.5 mm，从而兼容我们的NanoMax™6轴位移台。

我们的6轴NanoMax位移台作为功能强大的纳米定位工具还有2个创新点：一是公共旋转支点，二是将所有调节器直接耦合到底座的专有设计，以尽量减少系统中不必要的运动。

公共旋转点

如下图所示，每个NanoMax 6轴位移台在移动平台前都有不锈钢探针，标记所有旋转轴的公共支点。所有旋转轴具有公共支点，可以减少系统的对准时间，因为这样在调整θx、θy和θz时不需要补偿横向运动。如果移动平台开始平移，支点也会相对底座移动，保持支点和移动平台的相对位置。

可拆下的不锈钢探针顶部标记了所有旋转轴的公共支点

点P是所有三个旋转轴（偏转、俯仰和摆动）的公共支点。

精密驱动

NanoMax™6轴位移台提供预配置差分测微头驱动器或步进电机驱动器的位移台，即开即用。NanoMax 6轴位移台的模块化设计允许在任何时候拆卸和更换驱动器。驱动器都直接耦合到底座，以尽量减少系统中不必要的运动。这种特性非常适合需要亚微米级分辨率的应用。对于纳米定位应用，我们有内置压电驱动器的版本包括开环和闭环。

压电选项

开环或闭环的压电选项让这些位移台实现纳米级的分辨率。内置于位移台的压电驱动器具有30 µm的行程，可使用多种开环或闭环压电控制器控制。将这些位移台与NanoTrak控制器(K-Cube、台式或机架系统模块)耦合时，系统具有强大的自对准功能，能够维持光通量，并消除由于热漂移或其它外力引起的耦合效率损耗。这些压电位移台包含6根PAA100驱动电缆，在闭环系统的情况下，包含6根PAA622反馈变换器电缆。

具有开环压电驱动器的位移台没有应变仪位移传感器，非常适合需要定位分辨率低至20 nm的应用。带闭环压电驱动器的版本内部有应变仪位移传感器，可提供与压电元件的位移呈线性比例的反馈电压信号。这种反馈信号将分辨率提高到5 nm，可用于补偿所有压电元件中固有的迟滞、蠕变和热漂移，使这些位移台成为需要纳米级分辨率应用的好的选择。

请注意，压电机制利用与测微计驱动器的接触来移动顶部平台。不管出于任何原因，如果位移台在拆除测微计驱动器的情况下工作，必须在压电驱动器运行之前安装盲塞。

配件的简易对准

我们提供多种配件来安装产品，比如显微物镜、准直器、波导、光纤等更多产品。这些配件可以通过中心键槽在6轴位移台的顶部平台上轻的松实现对准。顶部平台的中心键槽便于快速重新配置系统，同时还能在整个实验中维持配件的对准。

Thorlabs NanoMax™ 6轴挠性位移台MAX603D，纳米定位

产品特性与参数

        X轴和Z轴：1 N/µm

        Y轴：0.5 N/µm

不带驱动器

带步进电机驱动器

带差分驱动器