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磁性、电涡流式覆层厚度测量仪校准片
简介
适用范围:磁性、电涡流式覆层厚度测量仪校准片适用于校验各种 型号磁性、电涡流式覆层厚度测量仪的标准器。
适用标准:JJG 818-2005《磁性、电涡流式覆层厚度测量仪校准规范》。
产品用途:标准块是专为校验磁性、电涡流式覆层厚度测量仪设计,适用于各种型号磁性、电涡流式覆层厚度测量仪。
技术指标:
准确度等级、示值大允许误差和校准用厚度片的要求 μm
项 目 名 称 | 准 确 度 级 别 | ||||||
AA | A | B | C | D | |||
示值大允许误差 | ±(0.3+0.5%H) | ±(0.5+1%H) | ±(1+3%H) | ±(2+5%H) | ±(3+10%H) | ||
校准片 | 厚度测量结果不确定度 | h≤50 | 0.15 | 0.3 | 0.5 | 1.0 | 1.5 |
h>50 | 0.3%h | 0.6%h | 1%h | 2%h | 3%h | ||
均匀性 | h≤50 | ±0.15 | ±0.3 | ±0.5 | ±1.0 | ±1.5 | |
h>50 | ±0.3%h | ±0.6%h | ±1%h | ±2%h | ±3%h | ||
注:1.H——标准厚度片(或校准板覆层的)的实际厚度值;h——校准片实际厚度值。 2.校准片厚度测量结果不确定度为扩展不确定度,k=3。 |
校准片规格(*) | ||||
11.9±0.3μm | 23.3±0.3μm | 48.6±0.3μm | 99.0±0.3μm | 243.7μm±0.6% |
501.2μm±0.6% | 996.5μm±0.6% | 1985μm±0.6% | 3805μm±0.6% | 7546μm±0.6% |
注:一套附带两块基板 |