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薄膜厚度测量
XRF镀层测量仪 椭偏仪 Filmetrics膜厚测量仪

薄膜轮廓与粗糙度测量
AFM Zeta白光共聚焦 3D光学轮廓仪 台阶仪

减震消磁系统
主动式减震系统 主动消磁系统

薄膜电性测量设备
四探针电阻率测量仪

薄膜缺陷检测

薄膜力学性能测量
纳米压痕仪
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