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傅里叶分束镜FTIR分束器/补偿器对用于傅里叶变换红外(FTIR)光谱仪中的迈克尔逊干涉仪方案。FTIR光谱仪通常基于迈克尔逊干涉仪,其中一个镜子是可移动的。两个反射镜位于干涉仪的两个臂上并且彼此垂直定向。分束器放置在直角的顶点,并相对于每个镜子以45°角定向。传递到分束器的光被分成两部分(理想地为50%/ 50%),它们进一步传播到两臂并从镜子反射。从分束器反射一次的光束(图中的上光束)也必须通过那里并通过倾斜的补偿板返回,以补偿另一个光束实际通过分束板三次而不是一次。在一定距离上扫描可移动镜,产生到达检测器的两个光束的干涉图案。
通过选择适当的分束器和补偿器材料,可以覆盖从可见光到远红外线的波长范围。
材料选择包括以下材料:熔融石英(石英)(可见/近红外),CaF2,BaF2和ZnSe(近红外/中红外)。
高电阻率FZ-Silicon也可用于远红外区域的分光镜。由于菲涅耳反射,它可以在非常宽的波长范围内用于~50%/ 50%的光束分裂而无需任何涂层。
分束器与材料的典型工作波长范围。
Fused Silica可见光红外熔融石英 | 0.4-1.1μm(25,000-9,000 cm -1) 或0.65-3.0μm(15,000-3,300 cm -1) |
CaF2氟化钙 | 0.65-8.5μm(15,000-1,200 cm -1) |
BaF2氟化钡 | 0.65-12μm(15,000-850 cm -1) |
ZnSe硒化锌 | 2-20μm(5,000-500 cm -1) |
HRFZ-Si高阻硅 | 50-1000μm(200-10 cm -1) |
为了实现FTIR光谱仪的高分辨率,应该以非常高的精度生产分束器/补偿器对。特别是表面平整度,楔形公差和厚度匹配是非常重要的。
可实现的规格:
直径,mm | 到100 |
表面平整度,λ为633 nm | 到1/10 |
楔形公差,弧秒 | 到+/- 10 |
厚度匹配,μm | 到1 |
最佳可能的规格取决于材料和参数组合。
为了对准目的,涂层的组合图案可以施加在FTIR分束器/补偿器的表面上。可见光束的“窗口” - 取决于干涉仪的尺寸设计的特殊形状的可见区域与IR区域一起放置。典型的涂层图案如下图所示。
部分 | 区域 | 涂层类型 | 反射/透射 |
分束器 | A | 部分反射 | R / T = 50%/ 50%@ 633nm |
B | 部分反射 | R / T =(50/50 +/- 10 )%@7-14μm 或R / T =(50/50 +/- 20)%@2.5-14μm | |
C | AR | R <0。5%@ 633 nm | |
D | BBAR | R ave <4 %@7-14μm 或R ave <5%@2.5-14μm | |
补偿器 | A | AR | R <0。5%@ 633 nm |
B | BBAR | R ave <4 %@7-14μm 或R ave <5%@2.5-14μm | |
C | AR | R <0。5%@ 633 nm | |
D | BBAR | R ave <4 %@7-14μm 或R ave <5%@2.5-14μm |
图2和表3 ZnSe分束器/补偿器对的涂层图(例)。
图3 ZnSe分束器/补偿器对的典型透射曲线。
可根据要求提供其他涂层图案和涂层类型。
屹持光电长期为FTIR光谱仪提供分束器/补偿器对(无涂层和涂层成品部件的基板),为欧洲,美国和远东地区的客户提供服务。
产品规格:
型号 | 直径 | 厚度 |
BS-KBr-D50.8-T3.5 | 50.8mm | 3.5mm |
W-KBr-D50.8-T3.5 | 50.8 | 3.5mm |