傅里叶分束镜FTIR分束器/补偿器对

FTIR Beam Splitter傅里叶分束镜FTIR分束器/补偿器对

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2024-08-06 11:07:01
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上海屹持光电技术有限公司

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产品简介

傅里叶分束镜FTIR分束器/补偿器对:为了实现FTIR光谱仪的高分辨率,应该以非常高的精度生产分束器/补偿器对。特别是表面平整度,楔形公差和厚度匹配是非常重要的。

详细介绍

傅里叶分束镜FTIR分束器/补偿器对


应用和操作原理


傅里叶分束镜FTIR分束器/补偿器对用于傅里叶变换红外(FTIR)光谱仪中的迈克尔逊干涉仪方案。FTIR光谱仪通常基于迈克尔逊干涉仪,其中一个镜子是可移动的。两个反射镜位于干涉仪的两个臂上并且彼此垂直定向。分束器放置在直角的顶点,并相对于每个镜子以45°角定向。传递到分束器的光被分成两部分(理想地为50%/ 50%),它们进一步传播到两臂并从镜子反射。从分束器反射一次的光束(图中的上光束)也必须通过那里并通过倾斜的补偿板返回,以补偿另一个光束实际通过分束板三次而不是一次。在一定距离上扫描可移动镜,产生到达检测器的两个光束的干涉图案。

迈克尔逊干涉仪作为FTIR光谱仪的一部分

 图1迈克尔逊干涉仪
作为FTIR光谱仪的一部分。


材料和光谱范围


通过选择适当的分束器和补偿器材料,可以覆盖从可见光到远红外线的波长范围。

材料选择包括以下材料:熔融石英(石英)(可见/近红外),CaF2,BaF2和ZnSe(近红外/中红外)。

高电阻率FZ-Silicon也可用于远红外区域的分光镜。由于菲涅耳反射,它可以在非常宽的波长范围内用于~50%/ 50%的光束分裂而无需任何涂层。

 分束器与材料的典型工作波长范围。

Fused Silica可见光红外熔融石英 0.4-1.1μm(25,000-9,000 cm -1
0.65-3.0μm(15,000-3,300 cm -1
CaF2氟化钙 0.65-8.5μm(15,000-1,200 cm -1
BaF2氟化钡 0.65-12μm(15,000-850 cm -1
ZnSe硒化锌 2-20μm(5,000-500 cm -1
HRFZ-Si高阻 50-1000μm(200-10 cm -1


规格和公差


为了实现FTIR光谱仪的高分辨率,应该以非常高的精度生产分束器/补偿器对。特别是表面平整度,楔形公差和厚度匹配是非常重要的。

可实现的规格:

直径,mm 到100
表面平整度,λ为633 nm 到1/10
楔形公差,弧秒 到+/- 10
厚度匹配,μm 到1

最佳可能的规格取决于材料和参数组合。

涂层

为了对准目的,涂层的组合图案可以施加在FTIR分束器/补偿器的表面上。可见光束的“窗口” - 取决于干涉仪的尺寸设计的特殊形状的可见区域与IR区域一起放置。典型的涂层图案如下图所示。

ZnSe分束器/补偿器对的涂层图案


部分 区域 涂层类型 反射/透射
分束器 A 部分反射 R / T = 50%/ 50%@ 633nm

B 部分反射 R / T =(50/50 +/- 10 )%@7-14μm 
R / T =(50/50 +/- 20)%@2.5-14μm

C AR R <0。5%@ 633 nm

D BBAR ave <4 %@7-14μm 
ave <5%@2.5-14μm
补偿器 A AR R <0。5%@ 633 nm

B BBAR ave <4 %@7-14μm 
ave <5%@2.5-14μm

C AR R <0。5%@ 633 nm

D BBAR ave <4 %@7-14μm 
ave <5%@2.5-14μm

图2和表3 ZnSe分束器/补偿器对的涂层图(例)。

分束器的透射图(T =(50 +/- 10)%@7-14μm)

补偿器传输图(AR @7-14μm)

 图3 ZnSe分束器/补偿器对的典型透射曲线。

可根据要求提供其他涂层图案和涂层类型。

屹持光电长期为FTIR光谱仪提供分束器/补偿器对(无涂层和涂层成品部件的基板),为欧洲,美国和远东地区的客户提供服务。


产品规格:

型号直径厚度
BS-KBr-D50.8-T3.5
50.8mm3.5mm
W-KBr-D50.8-T3.550.83.5mm



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