测量目标膜的**反射率，高精度测量膜厚和光学常数！非接触·非破坏·显微

测量时间仅1秒!

显微分光膜厚仪（OPTM系列）使用显微光谱法在微小区域内通过**反射率进行测量，可进行高精度膜厚度/光学常数分析。通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度，例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上，能达到1秒/点的高速测量，并且搭载了即使是初次使用的用户，也可容易出分析光学常数的软件

产品特点：

• 头部集成了薄膜厚度测量所需功能

• 通过显微光谱法测量高精度**反射率（多层膜厚度，光学常数）

• 1点1秒高速测量

• 显微分光下广范围的光学系统（紫外***近红外）

• 区域传感器的安全机制

• 易于分析向导，初学者也能够进行光学常数分析

• 独立测量头对应各种inline客制化需求

• 支持各种自定义

测量项目：

• **反射率测量

• 多层膜解析

• 光学常数分析（n：折射率，k：消光系数）

应用：

• 半导体：晶圆样品的自动调整，晶圆的弯曲检测

• 光学元器件：镜头镜片的放射率，弯曲等检测

产品规格型号：