高纯露点传感器- 详细介绍：
BXS-PUR-TX高纯露点传感器产品介绍：
在很多超纯气应用，诸如半导体工业中，气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来，对湿气的持续追踪测量都是个难点，需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案，用来在线测量露点值，下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。
Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的*适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。 。
BXS-PUR-TX技术指标：
技术指标 |
| 传感器 | | 传感器类型 | 密析尔陶瓷湿度传感器 | | 量程 | -120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C) | | 精度 | ±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±4°C -101 ~ -120°C (估算值) | | 分辨率 | 0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C | | 压力 | zui低 10-9 torr; zui大 24 MPa | | 气体流量 | 1 ~ 5 Nl/min | | 电气 | | 电源 | 通常 24 V DC, zui低10 V ~ zui高28 V , zui大电流 25 mA | | 输出 | 4-20 mA 输出, 对应范围可由软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供)
zui大负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8) | | 输出出错状态 | 标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 | | 机械性能 | | 传感器套筒 | 不锈钢, 0.1-0.2 Ra µm 电镀内抛光 | |
| 气路连接端口 | Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口 | | 安装配置 | Premium 或 OEM 型: 120.00mm 长, 气路端口的端面密封. 无需预留管路空隙
底座上有 2 个 M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔, 斜对面横竖间距均为 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 适用于用户提供的 ½" VCR 端口中 | | 尺寸 | Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm | | 重量 | Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g | | 包装 | Pura: 双层包装, 惰性气体填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 单层包装
所有选配件: 独立包装运输
Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作 |
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